预电离效应对ArF准分子激光特性的影响分析

发布时间：2021-05-23 01:27

　　利用流体模型对ArF准分子激光气体放电过程进行了数值模拟,通过对比不同初始预电离强度下的气体放电情况,分析了预电离效应对准分子激光系统放电特性的影响,并探究了不同气体参数下的预电离效果。结果表明,初始预电离强度对于极间击穿电压、ArF准分子的形成以及光输出特性均有显著影响。在保证均匀电场且有效放电的情况下,低的初始预电离强度难以"点燃"气体,但可以获得较高的激光输出能量,而提高初始预电离强度能有效降低击穿电压,却不利于气体对能量的吸收转化。此外,预电离效果受工作气压与F2比例的影响,气压的升高或F2浓度的增加,均会降低预电离的有效性。 

【文章来源】：半导体光电. 2020,41(04)北大核心

【文章页数】：6 页

【文章目录】：
0 引言
1 模型描述
    1.1 基本方程
    1.2 放电电路
    1.3 边界条件
    1.4 模型参数
2 结果与讨论
    2.1 气体放电的演化过程
    2.2 初始预电离强度对气体放电的影响
        2.2.1 电学特性的变化情况
        2.2.2 粒子密度的变化情况
        2.2.3 激光输出的变化情况
    2.3 气体工作参数对预电离效果的影响
3 结论


【参考文献】：
期刊论文
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[2]准分子激光技术发展(邀请论文)[J]. 余吟山,游利兵,梁勖,方晓东.  中国激光. 2010(09)
[3]大气压介质阻挡辉光放电研究综述[J]. 李雪辰,董丽芳.  自然科学进展. 2006(12)
[4]介质阻挡放电中的紫外线预电离[J]. 詹花茂,李明,李成榕.  高电压技术. 2005(02)
[5]离子复合对准分子ArF、Ar2F形成过程的影响[J]. 雷杰,王绍英,王勇,顾之玉.  量子电子学. 1987(04)

硕士论文
[1]低气压辉光放电等离子体模拟与特性研究[D]. 付强新.西安电子科技大学 2013



本文编号：3202020