基于多光束混合外差干涉的相位增强技术研究
发布时间:2021-07-18 18:55
激光外差干涉测量技术是微振动探测的重要手段,随着微纳应用的拓展,人们对精密测量系统的相位检测灵敏度提出了更高的要求.传统提高测量灵敏度的方法有优化外差干涉系统方案、改进相位重建算法和降低关键器件噪声等.本文提出了一种多光束混合干涉的相位增强方法,经过理论推导和实验验证得到如下近似条件:校正光与信号光的初相位相差πrad情况下,两光束的功率越接近,系统对目标的弱振动振幅响应越大.实验设计的两光束功率相差1%时,观察到了最大146倍的增强效果,该方法在微振动物体高灵敏度测量上具有较大的应用价值,在现有器件指标和相位解调算法不变的基础上可大幅提高外差干涉测量系统的探测能力.
【文章来源】:物理学报. 2020,69(19)北大核心EISCICSCD
【文章页数】:8 页
【参考文献】:
期刊论文
[1]频差偏差对全视场外差测量精度的影响[J]. 伍洲,张文喜,相里斌,李杨,孔新新. 物理学报. 2018(02)
[2]近距离激光外差探测光学极限位移分辨率[J]. 晏春回,王挺峰,张合勇,吕韬,吴世松. 物理学报. 2017(23)
[3]跨尺度亚纳米分辨的可溯源外差干涉仪[J]. 贺寅竹,赵世杰,尉昊赟,李岩. 物理学报. 2017(06)
本文编号:3290166
【文章来源】:物理学报. 2020,69(19)北大核心EISCICSCD
【文章页数】:8 页
【参考文献】:
期刊论文
[1]频差偏差对全视场外差测量精度的影响[J]. 伍洲,张文喜,相里斌,李杨,孔新新. 物理学报. 2018(02)
[2]近距离激光外差探测光学极限位移分辨率[J]. 晏春回,王挺峰,张合勇,吕韬,吴世松. 物理学报. 2017(23)
[3]跨尺度亚纳米分辨的可溯源外差干涉仪[J]. 贺寅竹,赵世杰,尉昊赟,李岩. 物理学报. 2017(06)
本文编号:3290166
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