基于MIS电容的太赫兹波调制器
发布时间：2021-07-26 16:27
太赫兹波作为最后被人类研究的电磁波频段,早年间受制于太赫兹源和探测器的研究进展,太赫兹的应用方向尚未得到很好的发展。目前,太赫兹波频段展示出的广大应用前景已经涵盖国防、医疗、通信、环境等多个领域。在太赫兹器件的研究领域中,太赫兹波调制器为多种太赫兹技术所必需。本论文中,我们制备了一种基于MIS电容的太赫兹波调制器,详细研究了该调制器在施加激光和施加偏置电压作用下对太赫兹波的调制性能,同时对器件制作中所涉及的工艺进行了研究。本文中,我们首先讨论了制备石墨烯/氮化硼/P型硅MIS电容器的实验工艺,并对其进行了相应的优化处理。然后对基于石墨烯与氮化硼构成的二维异质结增强的光控太赫兹波调制器进行了研究。石墨烯/氮化硼异质结修饰的硅与仅石墨烯修饰的硅对比后发现,在外加激光为100mW时其调制深度最大可增加一倍,调制深度随频率衰减也因为氮化硼的引入变小。这是由于氮化硼拥有较大的禁带宽度和较小的厚度,氮化硼薄膜的引入能够进一步有效的分离光生的电子和空穴,使得石墨烯对硅的修饰作用进一步增强。之后我们利用氮化硼良好的绝缘性和石墨烯良好的导电性代替MIS电容器中的介电层和金属层制备了基于MIS电容的太赫兹...
【文章来源】：电子科技大学四川省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校
【文章页数】：67 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
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【参考文献】：
期刊论文
[1]石墨烯基二维垂直异质结的制备及光电子器件[J]. 戴明金,高峰,杨慧慧,胡云霞,胡平安. 材料科学与工艺. 2017(03)
[2]缩比模型的宽频时域太赫兹雷达散射截面（RCS）研究[J]. 梁达川,魏明贵,谷建强,尹治平,欧阳春梅,田震,何明霞,韩家广,张伟力. 物理学报. 2014(21)
[3]太赫兹科学技术研究的新进展[J]. 赵国忠. 国外电子测量技术. 2014(02)
[4]太赫兹技术在医学检测和诊断中的应用研究[J]. 齐娜,张卓勇,相玉红. 光谱学与光谱分析. 2013(08)
[5]我国太赫兹基础研究[J]. 张怀武. 中国基础科学. 2008(01)
[6]太赫兹科学技术的新发展[J]. 刘盛纲. 中国基础科学. 2006(01)
本文编号：3303915
【文章来源】：电子科技大学四川省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校
【文章页数】：67 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
图１－１太赫兹波段在电磁波谱中的位置??
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【参考文献】：
期刊论文
[1]石墨烯基二维垂直异质结的制备及光电子器件[J]. 戴明金,高峰,杨慧慧,胡云霞,胡平安. 材料科学与工艺. 2017(03)
[2]缩比模型的宽频时域太赫兹雷达散射截面（RCS）研究[J]. 梁达川,魏明贵,谷建强,尹治平,欧阳春梅,田震,何明霞,韩家广,张伟力. 物理学报. 2014(21)
[3]太赫兹科学技术研究的新进展[J]. 赵国忠. 国外电子测量技术. 2014(02)
[4]太赫兹技术在医学检测和诊断中的应用研究[J]. 齐娜,张卓勇,相玉红. 光谱学与光谱分析. 2013(08)
[5]我国太赫兹基础研究[J]. 张怀武. 中国基础科学. 2008(01)
[6]太赫兹科学技术的新发展[J]. 刘盛纲. 中国基础科学. 2006(01)
本文编号：3303915
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