混合半导体制程的优化批间控制方法研究
发布时间：2021-07-28 04:57
随着人类需求的增加和新兴工艺的出现,半导体制造业的混合生产特性愈加明显,即一台设备用来加工多种产品。指数加权移动平均（Exponentially Weighted Moving Average,EWMA）控制器是半导体制造业中应用最广泛的一种批间控制器。但是,传统的EWMA控制器多数是为单一产品制程设计的,并不适用于混合半导体制程。针对该问题,本课题提出了混合半导体制程的优化批间控制方法研究。首先,本课题建立了一种更加准确的混合半导体制程的数学模型,在此基础上深入分析了混合半导体制程的两种主要控制器（基于机台的EWMA控制器和基于产品的EWMA控制器）的性能。新的分析结果对前人的研究成果进行了补充与扩展。仿真实验验证了所得结论的正确性。基于上述研究成果,本课题为混合半导体制程设计了一种新型EWMA控制器,能够同时克服基于机台与基于产品的EWMA控制器的缺点。在该控制器中,若某个批次的产品种类与上一批次的相同,则该批次的扰动估计值由EWMA估计器根据上一批次的数据得到;否则,该批次的扰动估计值由同种产品在之前最近批次的扰动估计值加上两个批次间其它产品生产过程中产生的漂移值得到。同时,本课...
【文章来源】：苏州大学江苏省 211工程院校
【文章页数】：95 页
【学位级别】：硕士
【文章目录】：
中文摘要
Abstract
第一章 绪论
1.1 课题背景及意义
1.2 课题国内外研究现状分析
1.2.1 状态估计器的研究现状
1.2.2 整体状态估计算法的研究现状
1.3 课题研究目标及内容
1.4 本文结构安排
第二章 EWMA控制器
2.1 EWMA算法
2.2 半导体制程中的EWMA控制器
2.3 性能分析
2.4 仿真实验
2.5 本章小结
第三章 混合半导体制程EWMA控制器研究
3.1 混合半导体制程简介
3.2 混合半导体制程模型
3.3 基于机台的EWMA控制器研究
3.3.1 算法介绍
3.3.2 性能分析
3.3.3 仿真实验
3.4 基于产品的EWMA控制器研究
3.4.1 算法介绍
3.4.2 性能分析
3.4.3 仿真实验
3.5 本章小结
第四章 新型EWMA控制器的设计
4.1 整体方案的设计
4.2 漂移项的估计算法
4.3 性能分析
4.4 仿真实验
4.5 本章小结
第五章 性能评价器的研究与设计
5.1 控制器性能评价流程
5.2 性能评价基准的选择与确定
5.2.1 最小方差基准
5.2.2 方差基准
5.2.3 均方误差基准
5.3 EWMA控制器基于均方误差的性能评价算法
5.4 模型参数辨识和估计方法
5.5 仿真实验
5.6 本章小结
第六章 总结与展望
6.1 总结
6.2 展望
参考文献
攻读学位期间本人出版或公开发表的论著、论文
致谢
附录A：基于机台的EWMA控制系统的输出表达式推导过程
附录B：基于产品的EWMA控制系统的输出表达式推导过程
附录C：新型EWMA控制系统的输出表达式推导过程
【参考文献】：
期刊论文
[1]基于性能评估的EWMA控制器在线优化方法[J]. 陈良,葛翠翠,王飞龙. 计算机集成制造系统. 2014(11)
[2]集成电路发展概述[J]. 董海青. 科技信息. 2011(32)
[3]小批量多品种的芯片研制生产线的质量控制[J]. 胡玲,潘宏菽. 半导体技术. 2011(07)
[4]面向可持续发展的半导体制造的集成产品和过程控制(英文)[J]. 陈良. Chinese Journal of Chemical Engineering. 2011(02)
[5]数字逻辑技术[J]. 范哲超,武剑. 科技信息. 2010(08)
[6]基于变折扣因子EWMA的混合产品批间控制方法[J]. 侯明阳,郑英,艾兵,郑燕,张杰. 控制理论与应用. 2009(10)
[7]半导体生产过程的Run-to-Run控制技术综述[J]. 王树青,张学鹏,陈良. 浙江大学学报(工学版). 2008(08)
[8]SPC在多品种小批量生产线的应用研究[J]. 徐岚,刘嵘侃,陈亚兰,贾新章. 微电子学. 2007(05)
[9]集成电路的现状及其发展趋势[J]. 冯亚林,张蜀平. 微电子学. 2006(02)
[10]统计过程控制SPC概论[J]. 王振华. 机电信息. 2005(19)
硕士论文
[1]多品种小批量生产方式下基于约束理论的生产计划与控制研究[D]. 游海波.合肥工业大学 2009
[2]基于变权值EWMA的混和产品批间控制方法研究[D]. 侯明阳.华中科技大学 2008
[3]我国集成电路产业发展的现状分析与对策研究[D]. 燕斌.天津大学 2004
本文编号：3307262
【文章来源】：苏州大学江苏省 211工程院校
【文章页数】：95 页
【学位级别】：硕士
【文章目录】：
中文摘要
Abstract
第一章 绪论
1.1 课题背景及意义
1.2 课题国内外研究现状分析
1.2.1 状态估计器的研究现状
1.2.2 整体状态估计算法的研究现状
1.3 课题研究目标及内容
1.4 本文结构安排
第二章 EWMA控制器
2.1 EWMA算法
2.2 半导体制程中的EWMA控制器
2.3 性能分析
2.4 仿真实验
2.5 本章小结
第三章 混合半导体制程EWMA控制器研究
3.1 混合半导体制程简介
3.2 混合半导体制程模型
3.3 基于机台的EWMA控制器研究
3.3.1 算法介绍
3.3.2 性能分析
3.3.3 仿真实验
3.4 基于产品的EWMA控制器研究
3.4.1 算法介绍
3.4.2 性能分析
3.4.3 仿真实验
3.5 本章小结
第四章 新型EWMA控制器的设计
4.1 整体方案的设计
4.2 漂移项的估计算法
4.3 性能分析
4.4 仿真实验
4.5 本章小结
第五章 性能评价器的研究与设计
5.1 控制器性能评价流程
5.2 性能评价基准的选择与确定
5.2.1 最小方差基准
5.2.2 方差基准
5.2.3 均方误差基准
5.3 EWMA控制器基于均方误差的性能评价算法
5.4 模型参数辨识和估计方法
5.5 仿真实验
5.6 本章小结
第六章 总结与展望
6.1 总结
6.2 展望
参考文献
攻读学位期间本人出版或公开发表的论著、论文
致谢
附录A：基于机台的EWMA控制系统的输出表达式推导过程
附录B：基于产品的EWMA控制系统的输出表达式推导过程
附录C：新型EWMA控制系统的输出表达式推导过程
【参考文献】：
期刊论文
[1]基于性能评估的EWMA控制器在线优化方法[J]. 陈良,葛翠翠,王飞龙. 计算机集成制造系统. 2014(11)
[2]集成电路发展概述[J]. 董海青. 科技信息. 2011(32)
[3]小批量多品种的芯片研制生产线的质量控制[J]. 胡玲,潘宏菽. 半导体技术. 2011(07)
[4]面向可持续发展的半导体制造的集成产品和过程控制(英文)[J]. 陈良. Chinese Journal of Chemical Engineering. 2011(02)
[5]数字逻辑技术[J]. 范哲超,武剑. 科技信息. 2010(08)
[6]基于变折扣因子EWMA的混合产品批间控制方法[J]. 侯明阳,郑英,艾兵,郑燕,张杰. 控制理论与应用. 2009(10)
[7]半导体生产过程的Run-to-Run控制技术综述[J]. 王树青,张学鹏,陈良. 浙江大学学报(工学版). 2008(08)
[8]SPC在多品种小批量生产线的应用研究[J]. 徐岚,刘嵘侃,陈亚兰,贾新章. 微电子学. 2007(05)
[9]集成电路的现状及其发展趋势[J]. 冯亚林,张蜀平. 微电子学. 2006(02)
[10]统计过程控制SPC概论[J]. 王振华. 机电信息. 2005(19)
硕士论文
[1]多品种小批量生产方式下基于约束理论的生产计划与控制研究[D]. 游海波.合肥工业大学 2009
[2]基于变权值EWMA的混和产品批间控制方法研究[D]. 侯明阳.华中科技大学 2008
[3]我国集成电路产业发展的现状分析与对策研究[D]. 燕斌.天津大学 2004
本文编号：3307262
本文链接：https://www.wllwen.com/kejilunwen/dianzigongchenglunwen/3307262.html
