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硅基多模波导光栅滤波器的研究

发布时间:2021-08-08 03:10
  光栅作为光学中重要的器件之一,在激光器、波分复用(Wavelength-Division Multiplexing,WDM)、传感和色散补偿等领域获得了广泛的应用。随着硅基集成光子学的快速发展,学者们对布拉格波导光栅进行了深入的研究,其已经成为了硅基集成光子学中重要的器件之一。这是因为基于SOI(Silicon-on-insulator,SOI)的光栅制作工艺简单,与CMOS工艺兼容、便于大规模生产、工艺简单、成本较低。同时高折射率差的SOI也使得硅基波导光栅的结构更加紧凑。硅基多模波导光栅作为波导光栅器件的一种,具有容差大、复用方便等优势,能够实现不同模式之间的转换,近期受到了人们越来越广泛的关注。因此,进一步研究硅基多模波导光栅,设计新型多模波导光栅功能性器件是非常有意义的课题。本博士学位论文研究目的是设计基于多模波导光栅的新型滤波器,主要创新和工作在于:1、基于非对称多模波导光栅和非对称渐变定向耦合器的结构,提出并研制了一种新型低插损的带通带阻型光栅滤波器,解决了布拉格波导光栅滤波器反射信号不利于光源稳定性的问题,实验测得下载端的插损仅为0.6dB,并以此结构设计了片上的上下路型... 

【文章来源】:浙江大学浙江省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校

【文章页数】:137 页

【学位级别】:博士

【部分图文】:

硅基多模波导光栅滤波器的研究


几种代表型的高速硅光调制器[39][47][49][50],

锗硅,探测器,代表性,无源光器件


方面的成本优势,学者们开始寻求锗硅探测器的研究。直到近年来晶格失配材料??的发展,2004年,锗硅探测器首次研制成功,锗硅探测器才迎来了突破性发展[51]。??高速和高响应度的锗硅光电探测器先后被报道[52]-[55],如图1.4⑻所示,到2013??年,高于40Gbps的锗硅探测器已经在实验中实现了?[56],如图1.4(b)所示,锗硅??探测器的优势逐渐显现。??(a)????:事??,:,'?’丨丨、':^:“。??:'??Si?reed??图1.4几种代表性锗硅探测器结构及实验图[55][56]。??1.2.4.无源光器件??在光传输网络中,不仅有光信号的产生与处理,还涉及到光信号的传输,这??主要是通过无源光器件来实现的。目前主要的无源光器件主要有连接器、滤波器、??分路器、复用器、光开关等。在集成光学系统中起着光学链接、光功率的分配、??波分、模式复用、信道切换以及衰减等功能。由此可见,无源光器件在集成光波??导的系统中也发挥着至关重要的作用。目前用于实现这些功能的器件主要有??AWG[57][58]、波导光栅[59]、马赫泽德干涉仪[60]、微环谐振腔[61]等结构。图??1.5(a)(b)(c)(d)分别为基于以上四种结构的

示意图,波导光栅,微环,波分复用系统


2010年,Intel推出了速率达到50Gb/s的硅基光模块。单路25?Gbps的光电混合??集成模块和30?Tbps/cm2的数据传输通过Bonding技术集成一体的光电芯片实现??的也于2012年先后被推出[62]。各种硅基光电混合集成的模块示意图见图1.6。??并且,在2018年的OFC会议上多个企业展示了?400?G的光收发模块。Intel公司??展示的基于硅光的100G和400G产品获得了很大的关注。可见,集成硅基光芯??片获得飞速发展,也取得了不菲的成绩,其应用前景以及潜在的价值吸引着众多??的国内外学者和机构争相对硅基集成光子学展开研究,这也推动着硅基集成光子??学的飞速发展。??7??

【参考文献】:
期刊论文
[1]基于粗时分复用技术的光纤光栅传感系统研究[J]. 王玉宝,刘亚冲.  光学技术. 2016(05)
[2]Analysis of fabrication results for 17×17 polymer arrayed waveguide grating multiplexers with flat spectral responses[J]. 秦政坤,于跃,宋佳,张会萍,王国峰,孙永欣,汪玉海.  Journal of Semiconductors. 2013(09)
[3]基于波分复用的光纤多防区周界传感系统[J]. 董小鹏,郑俊达.  中国激光. 2012(09)
[4]三轴光纤陀螺的分时复用闭环控制技术[J]. 王维强,刘军,鲁军.  红外与激光工程. 2011(11)
[5]折射率调制深度误差对切趾啁啾光纤光栅特性的影响[J]. 杨林,段开椋,罗时荣,赵卫.  强激光与粒子束. 2011(02)

博士论文
[1]基于波导光栅的硅基集成光器件研究[D]. 邱晖晔.浙江大学 2014



本文编号:3329096

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