基于喷墨打印技术IZO薄膜晶体管的制备及其性能研究
发布时间：2021-08-21 22:02
氧化物薄膜晶体管由于其高迁移率、高光透过率和可弯折等良好特性,在柔性显示领域收到广泛关注。近年来,随着喷墨打印技术在电子器件领域的应用,其能耗低、污染小、成本低、可制备精密图案和大面积连续打印等诸多优点而备受青睐。本文通过喷墨打印技术进行图案化薄膜制备（包括薄膜晶体管有源层和源漏电极层）,并对其制备工艺进行优化,最终得到高质量铟掺氧化锌（IZO）薄膜晶体管。具体工作内容如下:（1）控制有机溶剂的挥发速率,在有源层薄膜固化定型过程中,减小咖啡环效应的影响;将各溶质及有机溶剂的受热分解步骤拆分,使其单独进行反应,避免同时反应剧烈放热的过程对薄膜图案形态的破坏。通过多次分步退火方法,利用喷墨打印技术制备了表面平整、结构紧密的TFT有源层图案化薄膜,是制备性能良好的TFT器件关键因素的。同时,也为后续喷墨打印源漏电极提供良好的打印条件。（2）通过改变打印速度、出墨量、出墨频率、线间距等条件,成功制备除形态清晰,边界规则整齐的正方形银电极图案,为制备较高精度的TFT器件提供了良好条件。随后采用优化后的工艺条件,在喷墨打印制备得到的有源层图案上,覆盖正方形银电极,制备完整的TFT器件。实现不同打印...
【文章来源】：吉林建筑大学吉林省
【文章页数】：79 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
(a)PM和(b)AM驱动的液晶显示图
图 1-2 (a)P. K. Weimer 等人在 1962 年提出的 TFT 结构示意图(b)P. K. Weimer 等人制备 TFT 器件实物图[1]Fig. 1-2 (a) P. K. Weimer et al. proposed a schematic TFT structure in 1962.
图 1-4 沟道薄膜层数对衬底表面形貌及器件电学性能的影响Fig. 1-4 Effect of Channel Film Layer Number on Substrate Surface Morphology and DeviceElectrical Properties
【参考文献】：
期刊论文
[1]喷墨印制导电墨水研究进展[J]. 杨星,杜得喜,谢辉,王悦辉,李晶泽. 电子元件与材料. 2018(04)
[2]喷墨打印电极在薄膜晶体管中的应用[J]. 宁洪龙,杨财桂,陈建秋,陶瑞强,周艺聪,蔡炜,朱镇南,魏靖林,姚日晖,彭俊彪. 材料导报. 2018(05)
[3]喷墨打印聚合物薄膜均匀性调控研究进展[J]. 林杨鸣,曲轶,于新红,韩艳春. 应用化学. 2018(02)
[4]柔性基底导电银墨水喷墨打印工艺分析[J]. 曹威武,潘开林,韩旭峰,李婷婷,王文佳. 微纳电子技术. 2017(11)
[5]“战略性先进电子材料”重点专项——印刷TFT材料与器件的研究[J]. 张小涛,胡文平. 天津科技. 2017(08)
[6]国外印刷电子产业发展概述[J]. 邹竞. 影像科学与光化学. 2014(04)
[7]气溶胶喷印技术研究进展[J]. 杨丽媛,刘永强,魏雨,张孟,王凤霞,潘革波. 中国印刷与包装研究. 2012(02)
[8]直流电压下基于电液耦合动力学原理的微喷试验研究[J]. 黄永芳,徐磊,郑高峰,刘志鹏,孙道恒. 传感技术学报. 2010(07)
[9]喷墨打印图案化高分子薄膜及其在有机电子器件加工中的应用[J]. 邢汝博,丁艳,韩艳春. 分子科学学报. 2007(02)
[10]压电陶瓷驱动电源研制及其在打印机中的应用[J]. 许立宁,崔大付,范兆岩. 压电与声光. 2006(01)
硕士论文
[1]基于电-液耦合动力学原理（EHD）的喷墨印刷研究[D]. 王莎莎.江南大学 2015
[2]喷墨印刷制备有机场效应晶体管的研究[D]. 谢业磊.南京邮电大学 2015
本文编号：3356411
【文章来源】：吉林建筑大学吉林省
【文章页数】：79 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
(a)PM和(b)AM驱动的液晶显示图
图 1-2 (a)P. K. Weimer 等人在 1962 年提出的 TFT 结构示意图(b)P. K. Weimer 等人制备 TFT 器件实物图[1]Fig. 1-2 (a) P. K. Weimer et al. proposed a schematic TFT structure in 1962.
图 1-4 沟道薄膜层数对衬底表面形貌及器件电学性能的影响Fig. 1-4 Effect of Channel Film Layer Number on Substrate Surface Morphology and DeviceElectrical Properties
【参考文献】：
期刊论文
[1]喷墨印制导电墨水研究进展[J]. 杨星,杜得喜,谢辉,王悦辉,李晶泽. 电子元件与材料. 2018(04)
[2]喷墨打印电极在薄膜晶体管中的应用[J]. 宁洪龙,杨财桂,陈建秋,陶瑞强,周艺聪,蔡炜,朱镇南,魏靖林,姚日晖,彭俊彪. 材料导报. 2018(05)
[3]喷墨打印聚合物薄膜均匀性调控研究进展[J]. 林杨鸣,曲轶,于新红,韩艳春. 应用化学. 2018(02)
[4]柔性基底导电银墨水喷墨打印工艺分析[J]. 曹威武,潘开林,韩旭峰,李婷婷,王文佳. 微纳电子技术. 2017(11)
[5]“战略性先进电子材料”重点专项——印刷TFT材料与器件的研究[J]. 张小涛,胡文平. 天津科技. 2017(08)
[6]国外印刷电子产业发展概述[J]. 邹竞. 影像科学与光化学. 2014(04)
[7]气溶胶喷印技术研究进展[J]. 杨丽媛,刘永强,魏雨,张孟,王凤霞,潘革波. 中国印刷与包装研究. 2012(02)
[8]直流电压下基于电液耦合动力学原理的微喷试验研究[J]. 黄永芳,徐磊,郑高峰,刘志鹏,孙道恒. 传感技术学报. 2010(07)
[9]喷墨打印图案化高分子薄膜及其在有机电子器件加工中的应用[J]. 邢汝博,丁艳,韩艳春. 分子科学学报. 2007(02)
[10]压电陶瓷驱动电源研制及其在打印机中的应用[J]. 许立宁,崔大付,范兆岩. 压电与声光. 2006(01)
硕士论文
[1]基于电-液耦合动力学原理（EHD）的喷墨印刷研究[D]. 王莎莎.江南大学 2015
[2]喷墨印刷制备有机场效应晶体管的研究[D]. 谢业磊.南京邮电大学 2015
本文编号：3356411
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