真空环境下激光参数测量用运动机构及其对光束质量影响研究
发布时间：2021-09-02 20:21
直线运动平台是用来搬运或定位一个负载的执行机构。其是一种全新的实现运动与精确定位的机械结构,其实现了模块化设计,功能综合化。将之前的导向、传动系统、驱动系统等整合到了一起,让整个装置变得更加简洁,可以有效的减小运动误差,装置整体运行也更加稳定。同时在激光参数综合诊断光路中,需要一种直线运动装置作为光路调整机构,其搭载各种光学元件,按照预先设定的规则,让光学元件进出光路,实现对激光参数的测量与诊断。本文针对激光参数测量用机构的特殊要求,对于直线运动平台进行重新优化设计,从而使直线运动平台满足在激光参数诊断装置中的使用要求。首先,由于激光参数诊断装置对于精度有严格要求,因此先从光机系统设计、集成化分析角度入手,对精密光学机械设计中存在的各种误差进行了全面的分析。为后期设计做好理论基础。其次,结合机构设计要求,结合摩擦传动与消隙齿轮原理,设计平移台的传动部件。驱动部件根据使用环境要求,选择旋转型超声电机。接着,为了检测设计的直线运动平台的对光路光束质量的改良情况,设计了一种实时维护装置,用来提供标准光源。通过检测的光束质量和光路工作状态的改变,从而可以评估出直线运动平台的优化程度。最后,使用...
【文章来源】：陕西师范大学陕西省 211工程院校 教育部直属院校
【文章页数】：77 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
图１－１旋转电机＋滚珠丝杠方案的直线运动平台??
??图１－１旋转电机＋滚珠丝杠方案的直线运动平台??Ｆｉｇｌ－１?Ｒｏｔａｒｙ?ｍｏｔｏｒ?＋?ｂａｌｌ?ｓｃｒｅｗ?ｓｏｌｕｔｉｏｎ?ｌｉｎｅａｒ?ｍｏｔｉｏｎ?ｐｌａｔｆｏｒｍ??丝杠和螺母的原理已经使用了多个世纪，它提供了一种将旋转运动转换为直??线运动的方式。通过转动丝杠和固定螺母［６］（以便它不旋转），螺母将沿丝杠长??度方向运动。当然也可以固定丝杠，旋转螺母。丝杠提供了一种获得直线运胡的??有效方法，而且己经用在无数的机械上。丝杠的引入和不断的成功应用基于ｉ个??基本的事实：旋转电动机更易于产生比直线电动机具有更高的效率。??螺纹首个有名应用或许是阿基米德的螺旋泵［７］，它将螺纹的旋转动力转换为??升降动力，以便从河中提升水到灌溉渠中。第一个丝杠切削车床在１５世纪引入，??并用在制造木螺纹上。木螺纹促使金属螺纹的产生［８］。丝杠增加了手工加工的精??度，进而被用在加工金属工件的工具中。??人们发现
在国际机械装备行业产生了巨大影响，伺候，直线电机如雨后春笋一样，在??各个工业发达国家迅速发展起来。??图１＿３直线电机直线运动平台??Ｆｉｇ?１－３?ｌｉｎｅａｒ?ｍｏｔｏｒ?ｏｆ?ｌｉｎｅａｒ?ｍｏｔｉｏｎ?ｐｌａｔｆｏｒｍ??图１－４直线电机模组??Ｆｉｇ?１－４?Ｌｉｎｅａｒ?Ｍｏｔｏｒ?Ｍｏｄｕｌｅ??直线电机驱动的高速直线运动单元取消了从电机到工作平台之间的中间传动??环境，把传动链缩为零，称为“零传动”［２２］。由直线运动机构构成的高速直线运??动单元既可以简化了机械结构，又可提高直线运动单元的速度、加速度、灵敏度、??刚度和精度。直线电机如今被广泛的应用在各个行业，除了直线运动平台外，工??业生产流水线上也大量采用直线电机作为传送带［２３］。??５??
【参考文献】：
期刊论文
[1]基于DSP的丝杠螺母电动滑台设计[J]. 陈加徐. 内燃机与配件. 2017(16)
[2]角速度对三角皮带传动系统摩擦接触特性影响[J]. 刘文英. 机械传动. 2015(04)
[3]高加速度宏微运动平台研究[J]. 刘喜涛,高健. 机械设计与制造. 2014(09)
[4]基于图像处理技术的树脂镜片瑕疵分类特征研究[J]. 姚红兵,马桂殿,沈宝国,顾寄南,曾祥波,郑学良,蒋光平. 光电子.激光. 2014(02)
[5]永磁同步直线电机的变论域模糊PID控制[J]. 谢潜伟,刘军. 微电机. 2013(12)
[6]机床主轴螺母内螺纹加工中去毛刺[J]. 陈继衡,张西玉,文洪进. 金属加工(冷加工). 2012(20)
[7]激光/红外双波段减反射膜研究[J]. 杨林峰,熊长新,杨放. 光学与光电技术. 2009(06)
[8]丝杠对机床精度及稳定性的影响和解决方法[J]. 吴德林,牛得草. 机床与液压. 2008(01)
[9]遥感成像中CCD拖影问题的处理[J]. 陈宇恒,周望,沈为民. 光学仪器. 2007(06)
[10]齿形光阑的消高频衍射特性研究[J]. 刘欣,蒋金波. 激光与红外. 2007(06)
博士论文
[1]投影光刻物镜的光机热分析方法研究[D]. 沈意平.华中科技大学 2014
硕士论文
[1]行波超声电机驱动建模与模糊PID控制系统研究[D]. 李祥荣.大连海事大学 2017
[2]外置出瞳长焦距镜头设计研究[D]. 王倩雯.南京理工大学 2013
[3]直线电机在带式输送机上应用的可行性研究[D]. 郑慧玲.太原理工大学 2012
[4]变光束质量激光束自适应光纤耦合技术研究[D]. 赵蕊.长春理工大学 2011
[5]高速直线运动单元设计及性能评价实验技术研究[D]. 李发尧.重庆大学 2006
本文编号：3379670
【文章来源】：陕西师范大学陕西省 211工程院校 教育部直属院校
【文章页数】：77 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
图１－１旋转电机＋滚珠丝杠方案的直线运动平台??
??图１－１旋转电机＋滚珠丝杠方案的直线运动平台??Ｆｉｇｌ－１?Ｒｏｔａｒｙ?ｍｏｔｏｒ?＋?ｂａｌｌ?ｓｃｒｅｗ?ｓｏｌｕｔｉｏｎ?ｌｉｎｅａｒ?ｍｏｔｉｏｎ?ｐｌａｔｆｏｒｍ??丝杠和螺母的原理已经使用了多个世纪，它提供了一种将旋转运动转换为直??线运动的方式。通过转动丝杠和固定螺母［６］（以便它不旋转），螺母将沿丝杠长??度方向运动。当然也可以固定丝杠，旋转螺母。丝杠提供了一种获得直线运胡的??有效方法，而且己经用在无数的机械上。丝杠的引入和不断的成功应用基于ｉ个??基本的事实：旋转电动机更易于产生比直线电动机具有更高的效率。??螺纹首个有名应用或许是阿基米德的螺旋泵［７］，它将螺纹的旋转动力转换为??升降动力，以便从河中提升水到灌溉渠中。第一个丝杠切削车床在１５世纪引入，??并用在制造木螺纹上。木螺纹促使金属螺纹的产生［８］。丝杠增加了手工加工的精??度，进而被用在加工金属工件的工具中。??人们发现
在国际机械装备行业产生了巨大影响，伺候，直线电机如雨后春笋一样，在??各个工业发达国家迅速发展起来。??图１＿３直线电机直线运动平台??Ｆｉｇ?１－３?ｌｉｎｅａｒ?ｍｏｔｏｒ?ｏｆ?ｌｉｎｅａｒ?ｍｏｔｉｏｎ?ｐｌａｔｆｏｒｍ??图１－４直线电机模组??Ｆｉｇ?１－４?Ｌｉｎｅａｒ?Ｍｏｔｏｒ?Ｍｏｄｕｌｅ??直线电机驱动的高速直线运动单元取消了从电机到工作平台之间的中间传动??环境，把传动链缩为零，称为“零传动”［２２］。由直线运动机构构成的高速直线运??动单元既可以简化了机械结构，又可提高直线运动单元的速度、加速度、灵敏度、??刚度和精度。直线电机如今被广泛的应用在各个行业，除了直线运动平台外，工??业生产流水线上也大量采用直线电机作为传送带［２３］。??５??
【参考文献】：
期刊论文
[1]基于DSP的丝杠螺母电动滑台设计[J]. 陈加徐. 内燃机与配件. 2017(16)
[2]角速度对三角皮带传动系统摩擦接触特性影响[J]. 刘文英. 机械传动. 2015(04)
[3]高加速度宏微运动平台研究[J]. 刘喜涛,高健. 机械设计与制造. 2014(09)
[4]基于图像处理技术的树脂镜片瑕疵分类特征研究[J]. 姚红兵,马桂殿,沈宝国,顾寄南,曾祥波,郑学良,蒋光平. 光电子.激光. 2014(02)
[5]永磁同步直线电机的变论域模糊PID控制[J]. 谢潜伟,刘军. 微电机. 2013(12)
[6]机床主轴螺母内螺纹加工中去毛刺[J]. 陈继衡,张西玉,文洪进. 金属加工(冷加工). 2012(20)
[7]激光/红外双波段减反射膜研究[J]. 杨林峰,熊长新,杨放. 光学与光电技术. 2009(06)
[8]丝杠对机床精度及稳定性的影响和解决方法[J]. 吴德林,牛得草. 机床与液压. 2008(01)
[9]遥感成像中CCD拖影问题的处理[J]. 陈宇恒,周望,沈为民. 光学仪器. 2007(06)
[10]齿形光阑的消高频衍射特性研究[J]. 刘欣,蒋金波. 激光与红外. 2007(06)
博士论文
[1]投影光刻物镜的光机热分析方法研究[D]. 沈意平.华中科技大学 2014
硕士论文
[1]行波超声电机驱动建模与模糊PID控制系统研究[D]. 李祥荣.大连海事大学 2017
[2]外置出瞳长焦距镜头设计研究[D]. 王倩雯.南京理工大学 2013
[3]直线电机在带式输送机上应用的可行性研究[D]. 郑慧玲.太原理工大学 2012
[4]变光束质量激光束自适应光纤耦合技术研究[D]. 赵蕊.长春理工大学 2011
[5]高速直线运动单元设计及性能评价实验技术研究[D]. 李发尧.重庆大学 2006
本文编号：3379670
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