p型掺杂剂Cp 2 Mg在MOCVD气相中的反应机理研究

发布时间：2021-10-11 17:16

　　采用量子化学的密度泛函理论计算,提出并研究了金属有机化学气相沉积（MOCVD）气相过程中p型掺杂剂Cp₂Mg的反应机理。特别判断了不同温度下各反应进行的可能性。发现Cp₂Mg主要有两条相互竞争的反应路径,加合路径和氢解路径。对于加合路径,在293～573 K的温度范围内,会形成络合物Cp₂Mg∶NH₃或Cp₂Mg∶（NH₃）₂。对于氢解路径,气相中的H自由基是一把"双刃剑"。一方面H自由基对Cp₂Mg的分解有积极的辅助作用,明显降低了Cp₂Mg的分解温度;另一方面由于钝化作用会形成Mg-H气相络合物,影响p型掺杂效果。 

【文章来源】：化工学报. 2020,71(07)北大核心EICSCD

【文章页数】：9 页

【文章目录】：
引言
1 计算方法及验证
2 结果与讨论
    2.1 Cp2Mg与NH3的加合路径（G1和G2)
    2.2 Cp2Mg中的第一个碳环氢解过程（G3～G8)
    2.3 Cp2Mg中的第二个碳环氢解过程（G9～G14)
    2.4 相关实验证明
3 结论
符号说明



本文编号：3430938