基于单次曝光多光谱关联成像系统带通滤波器的研究

发布时间：2021-10-16 09:31

　　多光谱关联成像与传统点到点的成像方式不同,该技术是采用调制、解调的方式获取目标的图像信息。搭建了一套基于固定相位板的单次曝光多光谱关联成像系统,完成了多光谱关联成像系统中薄膜器件的研制。选择BK7玻璃作为基底材料,氧化铌（Nb₂O₅）和二氧化硅（SiO₂）为高、低折射率材料。根据光学薄膜基础理论,结合膜系设计软件进行膜系设计和模拟分析,通过建立膜系优化评价函数,实现了0°～30°入射450～700 nm带通滤光膜的设计,并在OZZSQ900型箱式真空镀膜机上完成了该薄膜的研制。通过优化SiO₂膜沉积速率,改善了薄膜表面缺陷,降低了散射损耗。对膜层的残余蒸镀进行分析,利用最小二乘法建立膜层厚度与残余蒸镀量之间拟合函数,调整监控方式,减小残余蒸镀,提高了制备过程中膜厚控制精度。采用安捷伦Cary5000分光光度计测试,在350～440 nm和710～800 nm波段透过率T <0.5%,450～700 nm范围内,光线入射角0°～30°时平均透过率T>98%的带通滤波器,满足系统使用要求,该... 

【文章来源】：红外与激光工程. 2020,49(09)北大核心EICSCD

【文章页数】：7 页

【参考文献】：
期刊论文
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本文编号：3439564