磁电声表面波传感器的后端检测电路研究

发布时间：2021-10-19 03:34

　　磁电声表面波（MESAW）传感器以其巨大的实用价值越来越受到人们的重视,在科研、生产、军事等领域将会发挥越来越重要的作用。磁电声表面波传感器通过磁敏感薄膜（或衬底）改变SAW的谐振频率,具有灵敏度高、体积小、易批量生产等优点。本论文主要开展了以下三方面的工作:首先,设计并制作了一种单端口谐振型的磁电声表面波传感器。该传感器主要由四部分组成,分别是声表面波谐振器、绝缘层、磁敏感层和保护层,其中磁敏感层采用具有巨杨氏模量效应的FeCoSiB薄膜。通过优化FeCoSiB/SiO₂薄膜的软磁性能与厚度,成功使磁敏传感器的灵敏度（△f/H）提升了2个数量级,达到41900 Hz/Oe（419 Hz/μT）,最终制得的磁电声表面波传感器的谐振频率为289.37 MHz,Q值为1205.71。其次,设计了一种具有高速、高精度、低功耗特性,适应阵列化传感器需求的信号检测系统用于检测MESAW传感器的谐振频率。该系统由五部分组成:起振电路、滤波器、分频部分、整形器和数据处理部分。系统包含两支信号通路:测量通路与参考通路,这两支信号通路中除起振电路中的SAW传感器外,其余各部分均相同... 

【文章来源】：电子科技大学四川省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校

【文章页数】：82 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

武器装备磁异常变化规律

各类磁传感器分辨力水平及潜力[20,21]

霍尔效应原理图

【参考文献】：
期刊论文
[1]基于ScAlN/FeGa结构的磁电声表面波谐振器[J]. 姜建利,杨雪梅,刘婉,白飞明.  压电与声光. 2019(01)
[2]稳态磁场对真核生物细胞骨架的影响[J]. 张磊,李志元,张欣.  科学通报. 2019(08)
[3]基于FPGA的等精度多功能频率计的设计[J]. 周松江,王立华,高世皓,张恒.  仪表技术. 2017(03)
[4]磁传感器技术的应用与发展[J]. 胡佳飞,李裴森,于洋,田武刚,陈棣湘,潘孟春.  国防科技. 2015(04)
[5]SAW生物传感器扫频检测系统[J]. 张峰,李双明,吴志强,苏岩,朱欣华.  自动化仪表. 2015(06)
[6]现代传感技术在信息科学中的地位[J]. 张开逊.  工业计量. 2006(01)
[7]声表面波器件的研究进展[J]. 李晖,潘峰.  真空科学与技术. 2001(05)
[8]声表面波用基片材料[J]. 郝俊杰,徐廷献.  硅酸盐通报. 2000(06)
[9]磁通门技术及其应用[J]. 郭爱煌,傅君眉.  传感器技术. 2000(04)
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硕士论文
[1]声表面波（SAW）传感器信号检测电路的设计与研究[D]. 潘航.南京理工大学 2016
[2]高灵敏度磁电声表面波磁场传感器研究[D]. 黄亮.电子科技大学 2015
[3]声表面波气体传感器阵列信号采集电路设计[D]. 李川.电子科技大学 2012



本文编号：3444074