飞秒激光空间光束整形加工技术研究进展

发布时间：2021-11-13 18:12

　　飞秒激光凭借其超短脉宽和极高峰值功率,在微纳加工中发挥了重要的优势,而飞秒激光的加工效率制约其在工业领域的应用。近年来,研究者成功将空间光调制器应用于飞秒激光加工,实现飞秒激光加工效率和灵活性的进一步提高。本文综述了近年来硅基液晶空间光调制器在飞秒激光加工领域的研究进展,主要包括多焦点并行加工、结构光场并行加工和矢量光场加工,分析了三种方法的优势和不足。并从光场均匀性和衍射效率两个方面,讨论了近年来对光场质量的研究。最后探讨了该领域目前存在的问题,并对未来提出了展望。 

【文章来源】：激光与光电子学进展. 2020,57(11)北大核心CSCD

【文章页数】：20 页

【部分图文】：

多焦点并行加工微透镜阵列电镜图（SEM)[1]。（a）三角形分布微透镜阵列；（b）图（a）以45°观察的局部图像；（c）六边形分布微透镜阵列；（d)4×4微透镜阵列

图1 多焦点并行加工微透镜阵列电镜图（SEM)[1]。（a）三角形分布微透镜阵列；（b）图（a）以45°观察的局部图像；（c）六边形分布微透镜阵列；（d)4×4微透镜阵列图3 三焦点加工正弦结构电镜图[5]

图2 多焦点在微通道内部集成不同微过滤器及过滤器微孔尺寸与激光能量的关系[3]。（a)(b）五焦点和七焦点集成微过滤器示意图；（c)(d）五焦点和七焦点在微通道集成微过滤器电镜图；（e）激光功率与微过滤器孔径的关系2.2 烧蚀加工

【参考文献】：
期刊论文
[1]飞秒激光高效并行微孔加工技术研究[J]. 张骆,翟中生,吕清花,陈波,刘顿.  湖北工业大学学报. 2018(04)
[2]水凝胶支架的飞秒激光全息加工[J]. 潘登,李家文,杨亮,胡衍雷,吴东,黄文浩,褚家如.  光学精密工程. 2017(09)
[3]基于空间光调制器的飞秒并行加工方法研究[J]. 胡勇涛,翟中生,吕清花,陈列,娄德元,杨奇彪,Peter Bennett,刘顿.  应用光学. 2016(02)
[4]基于空间光调制器的光束偏振态控制方法研究[J]. 翟中生,胡勇涛,吕清花,陈列,娄德元,杨奇彪,Peter Bennett,刘顿.  激光与光电子学进展. 2016(03)
[5]飞秒激光全息并行加工中的多焦点均一性[J]. 苏亚辉,汪金礼,杨亮,李家文,黄文浩.  光学精密工程. 2013(08)

博士论文
[1]基于空间光调制器的飞秒激光加工微光学元件技术研究[D]. 曹小文.吉林大学 2019
[2]基于空间光调制技术的高速高分辨飞秒激光加工[D]. 张晨初.中国科学技术大学 2016
[3]基于空间光调制器的飞秒激光并行加工技术研究[D]. 杨亮.中国科学技术大学 2015
[4]飞秒矢量光场空间调控及其在微纳加工中的应用[D]. 娄凯.南开大学 2013

硕士论文
[1]不同偏振光对FPC打孔加工技术研究[D]. 郭钊.湖北工业大学 2017
[2]飞秒激光可控弯曲结构加工新方法及其应用[D]. 刘毅.北京理工大学 2016
[3]飞秒激光制备单晶硅表面微结构研究[D]. 周强.西安邮电大学 2013



本文编号：3493477