大面元太赫兹热释电探测器

发布时间：2021-11-24 10:42

　　针对太赫兹光束的光斑直径较大和传输途径不同的现状,提出大面元太赫兹热释电探测器和多用途探测器结构研究,用于自由空间和波导传输太赫兹光束功率的测试。首先使用有限元分析软件建立太赫兹热释电探测器模型,开展热电耦合仿真设计;其次使用精密研磨抛光工艺、平面集成电路微纳米加工技术、匀胶与剥离工艺、砂轮划片技术等工艺技术,开展太赫兹热释电探测器研制;最后创新设计装配在探测器结构上的套筒与波导适配器。理论分析和实验结果表明:该方法设计的太赫兹热释电探测器具有噪声等效功率低、重复性高特点,并且解决了自由空间与波导传输太赫兹辐射功率兼容测试问题。 

【文章来源】：红外与激光工程. 2020,49(05)北大核心EICSCD

【文章页数】：6 页

【参考文献】：
期刊论文
[1]利用循环移频环路产生的倍频因子可调谐太赫兹信号[J]. 解陶然,王肇颖,袁泉,蒋振坤,葛春风.  红外与激光工程. 2019(S1)
[2]圆周阵列太赫兹干涉成像中目标场景仿真[J]. 吴俊政,倪维平,严卫东,张晗.  红外与激光工程. 2019(01)
[3]堆叠型太赫兹通信透镜天线设计[J]. 潘武,曾威,张俊,余璇.  光学精密工程. 2017(01)
[4]基于超薄钽酸锂晶体材料高响应太赫兹探测器（英文）[J]. 梁志清,刘子骥,蒋亚东,郑兴,王涛,于贺.  红外与毫米波学报. 2016(05)
[5]太赫兹功率非相干测试技术研究进展[J]. 张鹏,董杰,韩顺利,张志辉,聂建华.  微波学报. 2015(S1)

硕士论文
[1]基于钽酸锂晶片的热释电探测器敏感元研制[D]. 程金宝.电子科技大学 2017



本文编号：3515815