BAW滤波器板上测试夹具设计

发布时间：2021-12-24 11:30

　　针对体声波（BAW）滤波器与测试仪器间接口形式不同而无法直接测试的问题,设计了一款BAW滤波器板上测试夹具。首先根据经验公式初步确定夹具介质基片厚度,并导入ADS中LineCacl工具,计算出夹具微带线长度、宽度的初始值;在ADS中建立TDR瞬态仿真电路,进行微带线阻抗不匹配研究,给出相应的解决方法,将初始设计的夹具结构参数导入ADS进行阻抗匹配复核;选用3款不同中心频率的BAW滤波器作为待测器件（DUT）,分别进行了片上探针和板上夹具测试,并将同一滤波器测试结果的散射参数矩阵参量(S₁₁、S₁₂、S₂₁、S₂₂)曲线进行对比。对比结果表明,与片上测试相比,板上测试曲线略有偏移,但两者趋势一致;板上测试S₁₂-S₂₁曲线、S₁₁-S₂₂曲线吻合较好。板上测试结果可为后续去嵌入校准提供比较可靠的初始值。 

【文章来源】：压电与声光. 2020,42(02)北大核心

【文章页数】：7 页

【部分图文】：

板上测试夹具结构示意图

采用时域反射仪(TDR)监测阶跃信号变化可得出反射系数的变化,进而计算传输线的特征阻抗。得到初始微带线参数后,利用TDR进行传输线阻抗匹配分析。在ADS软件中,搭建微带线的TDR电路仿真模型如图2所示。图中,MLIN是被测的微带线,阶跃电压源VtStep作为阶跃信号发生器,理想微带传输线TLIN作为被测传输线的参考,网络节点电压Vin用于观察信号变化。根据图2模型在ADS软件中仿真得到瞬态仿真曲线如图3所示。在得到TDR阶跃脉冲信号曲线(见图3)过程中,小的凹陷(见图3(a))代表电容特性;小的凸起(见图3(b))代表电感效应[11],因此可分析传输线的电容/电感特性。

根据图2模型在ADS软件中仿真得到瞬态仿真曲线如图3所示。在得到TDR阶跃脉冲信号曲线(见图3)过程中,小的凹陷(见图3(a))代表电容特性;小的凸起(见图3(b))代表电感效应[11],因此可分析传输线的电容/电感特性。图3 微带传输线瞬态仿真曲线

【参考文献】：
期刊论文
[1]FBAR板上测试技术综述[J]. 许夏茜,高杨,刘婷婷.  中国测试. 2019(02)
[2]体声波滤波器的片上测试与性能表征[J]. 高杨,蔡洵,贺学锋,刘海涛.  压电与声光. 2015(05)

硕士论文
[1]射频无源表面贴装元件的校准与测量技术的研究[D]. 杨贺.电子科技大学 2014



本文编号：3550406