TFT混切技术的干蚀刻制程工艺优化研究
发布时间：2022-01-06 09:38
伴随TFT-LCD行业的迅猛发展,许多新技术新工艺在LCD面板实际生产中得到规模化的应用。为了满足市场对不同尺寸面板的需求,防止尺寸生产单一化导致实际产能的浪费,生产中会应用到混切技术（Multi-Mode Glass,MMG）。MMG混切技术可以将不同尺寸面板根据产品规格需求混合排版在同一片基板上,避免产品单一化,提高玻璃基板利用率,从而降低生产成本,提高市场竞争力。目前MMG混切技术已在实际生产中的得以应用,但仍旧存在一些难题,如干蚀刻后的有源层残留膜厚均一性（a-Si remain U%）不佳,这将会影响产品的电学性能/产品良率以及产品品质等。研究发现造成此问题的原因是MMG混切产品两个尺寸的像素密度（Pixels Per Inch,简称PPI）和金属密度差异过大导致负载效应明显。为了改善此问题,本文从干蚀刻制程面以及设计面两个方面进行优化。在干蚀刻方面,通过分析有源层残留膜厚U%来评估MMG混切技术的影响。通过干蚀刻制程参数的调整来优化产品的有源层残留膜厚U%,通过试验设计研究干蚀刻参数对有源层残留膜厚U%的影响,如气体压力、电源功率、蚀刻气体比例、蚀刻气体分布等工艺参数对蚀刻...
【文章来源】：华南理工大学广东省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校
【文章页数】：64 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
MMG示意图
图 1-2.不同尺寸混合排版设计Figure 1-2 Different size mixed typesetting designFT-LCD 制程及显示原理FT-LCD 是 21 世纪电子信息产业最重要的技术之一,取代了传统的 CRT 技术息技术、促进经济的快速发展、优化产业结构等方面起了重要作用[1].
2图 1-4 TFT-LCD 分辨率的发展趋势[2]Figure 1-4 TFT-LCD development trend of resolution自 TFT-LCD 的迅猛发展，人们对于其分辨率的要求也越来越高，大尺寸、高目前液晶显示器最为重要的两个发展方向[3]。其玻璃基板的面积也由最*350 mm2发展到目前普及的 2600*3000mm2。在 2012 年 3 月，华星光电自主研球最大的 110 吋四倍全高清 3D LCD -“中华之星”，是中国在显示界的一大创
【参考文献】：
期刊论文
[1]TFT有源层刻蚀均一性和电学性质的研究[J]. 王守坤,袁剑峰,郭总杰,郭会斌,刘杰,郑云友,贠向南,李升玄,邵喜斌. 液晶与显示. 2015(05)
[2]有源层刻蚀工艺优化对TFT-LCD品质的影响[J]. 李田生,谢振宇,李婧,阎长江,徐少颖,陈旭,闵泰烨. 液晶与显示. 2013(05)
[3]a-Si厚度对TFT开关特性的影响[J]. 闫方亮,沈世妃,侯智,刘祖宏,郑载润,刘锋,李斗熙. 现代显示. 2011(07)
[4]矩形光场LED一次透镜光学设计[J]. 夏勋力,余彬海,梁丽芳. 半导体光电. 2010(05)
[5]等离子体刻蚀工艺的优化研究[J]. 王晓光,朱晓明,尹延昭. 中国新技术新产品. 2010(14)
[6]一种用于TFT-LCD液晶显示的片内门宽调制控制器的设计[J]. 叶强,来新泉,陈富吉,李演明,袁冰. 半导体学报. 2008(08)
[7]a-Silicon剩余厚度和TFT特性的关系研究[J]. 郑载润,崔捷,董宜萍,李伟,李正勳,李斗熙. 现代显示. 2008(08)
[8]国内外TFT-LCD产业的发展[J]. 孙政民. 电子产品世界. 2004(13)
博士论文
[1]TFT-LCD低功耗多输出电源管理芯片的研究与实现[D]. 叶强.西安电子科技大学 2009
[2]TFT-LCD驱动技术的研究[D]. 杨虹.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 2000
硕士论文
[1]基于图像处理的小尺寸液晶屏显示缺陷智能检测[D]. 裴文芳.吉林大学 2015
本文编号：3572213
【文章来源】：华南理工大学广东省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校
【文章页数】：64 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
MMG示意图
图 1-2.不同尺寸混合排版设计Figure 1-2 Different size mixed typesetting designFT-LCD 制程及显示原理FT-LCD 是 21 世纪电子信息产业最重要的技术之一,取代了传统的 CRT 技术息技术、促进经济的快速发展、优化产业结构等方面起了重要作用[1].
2图 1-4 TFT-LCD 分辨率的发展趋势[2]Figure 1-4 TFT-LCD development trend of resolution自 TFT-LCD 的迅猛发展，人们对于其分辨率的要求也越来越高，大尺寸、高目前液晶显示器最为重要的两个发展方向[3]。其玻璃基板的面积也由最*350 mm2发展到目前普及的 2600*3000mm2。在 2012 年 3 月，华星光电自主研球最大的 110 吋四倍全高清 3D LCD -“中华之星”，是中国在显示界的一大创
【参考文献】：
期刊论文
[1]TFT有源层刻蚀均一性和电学性质的研究[J]. 王守坤,袁剑峰,郭总杰,郭会斌,刘杰,郑云友,贠向南,李升玄,邵喜斌. 液晶与显示. 2015(05)
[2]有源层刻蚀工艺优化对TFT-LCD品质的影响[J]. 李田生,谢振宇,李婧,阎长江,徐少颖,陈旭,闵泰烨. 液晶与显示. 2013(05)
[3]a-Si厚度对TFT开关特性的影响[J]. 闫方亮,沈世妃,侯智,刘祖宏,郑载润,刘锋,李斗熙. 现代显示. 2011(07)
[4]矩形光场LED一次透镜光学设计[J]. 夏勋力,余彬海,梁丽芳. 半导体光电. 2010(05)
[5]等离子体刻蚀工艺的优化研究[J]. 王晓光,朱晓明,尹延昭. 中国新技术新产品. 2010(14)
[6]一种用于TFT-LCD液晶显示的片内门宽调制控制器的设计[J]. 叶强,来新泉,陈富吉,李演明,袁冰. 半导体学报. 2008(08)
[7]a-Silicon剩余厚度和TFT特性的关系研究[J]. 郑载润,崔捷,董宜萍,李伟,李正勳,李斗熙. 现代显示. 2008(08)
[8]国内外TFT-LCD产业的发展[J]. 孙政民. 电子产品世界. 2004(13)
博士论文
[1]TFT-LCD低功耗多输出电源管理芯片的研究与实现[D]. 叶强.西安电子科技大学 2009
[2]TFT-LCD驱动技术的研究[D]. 杨虹.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 2000
硕士论文
[1]基于图像处理的小尺寸液晶屏显示缺陷智能检测[D]. 裴文芳.吉林大学 2015
本文编号：3572213
本文链接：https://www.wllwen.com/kejilunwen/dianzigongchenglunwen/3572213.html
