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高密度超薄柔性集成电路封装基板覆铜表面缺陷检测系统研究

发布时间:2022-01-14 03:11
  柔性集成电路封装基板(Flexible Integrated Circuit Substrate,简称FICS),是一种在聚酰亚胺介质材料表面使用铜箔腐蚀形成线路的印刷线路基板。FICS制造工艺涉及IC制程、封装和组装等三大电子信息制造业关键工序,具有重量轻、体积小、高密度和可弯曲等特点,在航天、军事、移动终端等领域得到非常广泛的应用。随着人们对电子产品微型化的要求,FICS线路尺寸已达到微米级别,并随着IC制程的技术进步向纳米级方向发展,其制造过程中质量和缺陷的控制也越来越严格。传统的人工目检的方式和普通的CCD相机自动光学检测系统已经无法满足高密度超薄FICS的精密检测需求。针对这些难点,本文搭建了基于超精密显微成像的FICS缺陷检测系统。针对FICS覆铜表面氧化等几种常见的缺陷,研究其高精度检测算法。本文主要工作如下:(1)针对高密度超薄FICS精密检测需求,搭建基于超精密显微成像的FICS缺陷检测系统,并介绍改进后的基于金相显微镜与变倍镜的双CCD组合二代机系统。根据FICS覆铜表面缺陷特点,设计稳定的光源系统,运用金相显微镜与变倍镜的双CCD组合系统改进图像采集结构,采用XY... 

【文章来源】:华南理工大学广东省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校

【文章页数】:68 页

【学位级别】:硕士

【部分图文】:

高密度超薄柔性集成电路封装基板覆铜表面缺陷检测系统研究


基于精密显微视觉的FICS检测系统实物图

实物


改进后的二代机实物图

图像,铜箔,在线监测,建模


b 灰度直方图 系统采集图像及其特征图自适应阈值的铜箔表面快速分割方法。针对颜色分割方法,并取得了一定的分割效果。但,本人进一步提出了一种基于单高斯模型(Sing氧化缺陷检测算法,能快速检测出氧化缺陷,的氧化区域,设计一种基于 8 维颜色特征的氧。算法分为离线建模与在线监测,具体流程图在线监测采集待检测FICS图像铜箔分割颜色建模

【参考文献】:
期刊论文
[1]深度强化学习进展:从AlphaGo到AlphaGo Zero[J]. 唐振韬,邵坤,赵冬斌,朱圆恒.  控制理论与应用. 2017(12)
[2]基于骨架特征的柔性电路板缺陷检测方法[J]. 苑玮琦,姚双.  计算机应用. 2016(S1)
[3]柔性技术成为抢占可穿戴设备红海市场之关键[J]. 陈世金.  电子科学技术. 2016(02)
[4]一种FPC缺陷视觉检测方法[J]. 孙国栋,杨林杰,张杨.  自动化仪表. 2015(12)
[5]基于纹理特征的挠性印制电路板焊盘缺陷检测[J]. 杨冬涛,黄杰贤,龚昌来,张学成.  计算机测量与控制. 2015(02)
[6]挠性覆铜板行业与市场现况调查[J]. 祝大同.  覆铜板资讯. 2014 (02)
[7]HSI颜色模型在镨钕组分含量检测中的应用[J]. 陆荣秀,欧阳超明,杨辉,朱璐闻.  计算机与应用化学. 2013(10)
[8]全局缺陷和局部缺陷的FPC检测算法研究[J]. 孔令丹,谭劲,褚娜.  中国计量学院学报. 2012(03)
[9]基于图像处理和支持向量机的初烤烟叶颜色特征区域分类[J]. 潘治利,祁萌,魏春阳,李锋,张仕祥,王建伟,过伟民,艾志录.  作物学报. 2012(02)
[10]基于彩色图像特征的铜成分软测量模型[J]. 张宏伟,宋执环.  上海交通大学学报. 2011(08)

博士论文
[1]基于图像分析的废杂铜熔炼过程控制[D]. 张宏伟.浙江大学 2014
[2]FPC外观缺陷自动光学检测关键技术研究[D]. 黄杰贤.华南理工大学 2012
[3]基于小波的纹理分析及其在FPC金面缺陷检测中的应用[D]. 王庆香.华南理工大学 2011

硕士论文
[1]高密度柔性基板视觉检测中的图像分割与圆孔检测技术研究[D]. 陈绪超.华南理工大学 2018
[2]高密度集成电路超薄柔性基板的精密显微成像检测系统[D]. 李翼.华南理工大学 2018
[3]高密度柔性基板视觉检测中的几个关键技术研究[D]. 林畅赫.华南理工大学 2017
[4]基于机器视觉FPC缺陷检测系统的研究与应用[D]. 原振方.湖北工业大学 2016
[5]基于显微视觉的柔性基板检测系统及关键技术研究[D]. 吕斯俊.华南理工大学 2016
[6]柔性印刷线路板缺陷检测方法研究[D]. 姚双.沈阳工业大学 2016
[7]大幅面柔性印刷线路板缺陷在线视觉检测系统[D]. 刘晓婷.沈阳工业大学 2016
[8]FPC光学缺陷检测平台中的关键图像处理技术[D]. 陈泽武.华南理工大学 2015
[9]柔性印刷电路板缺陷检测系统研究[D]. 何继贤.华南理工大学 2015
[10]基于颜色特征的皮革分类方法研究[D]. 赵海.浙江工业大学 2015



本文编号:3587689

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