北斗导航用2492MHz低损耗声表面波滤波器研制

发布时间：2022-04-23 14:25

　　随着全球卫星导航定位系统的兴起和我国北斗系统的大力建设,相关天线、芯片、板卡和接收机等配套产品发展迅速,对于接受和发射用高性能声表面波滤波器的市场需求巨大。本文着重研究了采用42°Y-X LiTaO₃压电材料和梯形设计结构的北斗Rx端用2492MHz低损耗声表面波滤波器的实现过程。在对声表面波,压电材料及叉指换能器的原理,特性、参数等作了大量基础性研究的基础上,通过器件性能指标需求分析,确认了基本设计方案和工艺方向。然后经过模拟仿真,在多个梯形级联方案中选取损耗、带宽和抑制均能较好满足要求的串并联结构,并进一步优化其串并连接方式以简化谐振器数量。最后确认了各谐振器的结构参数,得到了最终版图。为保证器件的性能和可靠性,在声表器件生产工艺方面也进行了相应的优化,比如选择了黑化还原钽酸锂作为衬底材料,采用剥离工艺制备叉指换能器,使用Al-Cu合金替代常规的Al,对压焊电极区域进行局部加厚等。最后对2492MHz声表滤波器进行了电性能测试和可靠性验证,结果证明了设计方案和工艺优化的正确性。 

【文章页数】：68 页

【学位级别】：硕士

【文章目录】：
摘要
Abstract
第一章 绪论
    1.1 研究背景
    1.2 声表面波技术的发展
    1.3 研究目的及意义
    1.4 论文的组织结构
第二章 声表面波器件
    2.1 声表面波器件的基本工作原理
    2.2 声表面波器件的特点和种类
    2.3 声表面波滤波器
    2.4 本章小结
第三章 声表面波压电材料
    3.1 压电性基础研究
    3.2 压电材料的重要参数
    3.3 压电单晶材料
    3.4 本章小结
第四章 声表面波叉指换能器
    4.1 叉指换能器的基本原理
    4.2 叉指换能器的重要参数
    4.3 叉指换能器的设计制作
    4.4 本章小结
第五章 滤波器整体设计方案
    5.1 需求分析
    5.2 整体设计
    5.3 方案优化
    5.4 本章小结
第六章 工艺实现和性能测试
    6.1 芯片工艺
    6.2 封装工艺
    6.3 性能测试
    6.4 本章小结
第七章 总结和展望
    7.1 总结
    7.2 展望
致谢
参考文献



本文编号：3647360