电流调制激光自混合光栅干涉位移测量研究

发布时间：2022-07-12 19:17

　　本文提出了一种激光自混合光栅干涉仪.通过利特罗结构设计,光栅衍射光沿入射方向原路返回激光器,和腔内光混合产生激光自混合干涉效应.由于光栅多普勒效应导致干涉相位随光栅沿光栅矢量方向上的位移而改变.为了提高测量的精度,通过正弦调制半导体激光器的驱动电流,调制激光自混合干涉信号的相位,并引入了傅里叶分析的方法解调相位,最终实现了光栅位移的重构.激光自混合干涉的机制和利特罗结构设计保证了整个光学系统的紧凑性和自准直性.实验结果表明,测量系统的位移噪声水平在50 nm以内. 

【文章页数】：7 页

【文章目录】：
1 原理
    1.1 激光自混合光栅干涉原理
    1.2 正弦电流调制解调原理
2 实验结果与讨论
    2.1 半导体激光器调制参数k的确定
    2.2 实验结果
    2.3 测量结果分析
        2.3.1 测量灵敏度以及理论误差
        2.3.2 系统的噪声误差
3 结论



本文编号：3659693