陶瓷结合剂金刚石砂轮组织结构对其性能的影响

发布时间：2022-08-08 13:04

　　研究单晶硅片磨削用陶瓷结合剂金刚石砂轮的组织结构对砂轮性能的影响,评估砂轮组织结构对砂轮磨损速率、磨床主轴电流、磨削后的单晶硅片表面粗糙度及其表面形貌的影响。试验结果显示:主轴电流随着砂轮组织中孔隙率的增加呈现下降趋势,从最高的7.0 A降低至6.3 A;砂轮的磨损速率则表现出相反的规律,气孔率最大的砂轮的磨损速率是最小的砂轮的近2倍,分别为2.525 2μm/片和1.423 8μm/片;砂轮组织结构对磨削后工件的表面粗糙度影响不大,工件的表面粗糙度R_a值分别为7.67、7.47和7.37 nm;但当气孔孔径过大、孔壁变薄时,会造成磨削工件表面出现深划痕,导致硅片磨削质量恶化。 

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【文章目录】：
1 试验
    1.1 砂轮制备
    1.2 磨削试验及性能表征
2 结果与分析
    2.1 砂轮组织结构表征
    2.2 砂轮的机械性能对比
    2.3 砂轮磨削性能对比
3 结论


【参考文献】：
期刊论文
[1]烧结制度对陶瓷结合剂金刚石砂轮的蜂窝状组织结构的影响[J]. 苗卫朋,丁玉龙,骆苗第,熊华军.  金刚石与磨料磨具工程. 2020(01)
[2]氟化钙对单晶硅片磨削用树脂结合剂金刚石砂轮磨削性能的影响[J]. 丁玉龙,惠珍,熊华军,赵延军,包华.  金刚石与磨料磨具工程. 2019(01)
[3]数控磨削过程中砂轮电机电流的实时监测[J]. 焦阳,李郝林.  上海理工大学学报. 2009(01)
[4]大直径硅片超精密磨削技术的研究与应用现状[J]. 康仁科,田业冰,郭东明,金洙吉.  金刚石与磨料磨具工程. 2003(04)

博士论文
[1]纳米级超精密磨削IC硅片的金刚石砂轮材料研究[D]. 李克华.上海大学 2016
[2]硅片超精密磨削减薄工艺基础研究[D]. 高尚.大连理工大学 2013



本文编号：3671560