MEMS压力传感器芯片的数字信号调理与设计实现

发布时间：2022-10-04 12:08

　　随着MEMS（Micro-Electro-Mechanical System,微机电系统）技术和集成电路技术的发展,压力传感器呈现出数字化、小型化、智能化以及集成化的发展趋势。传统的压力传感器体积大、输出信号为模拟信号,容易受到干扰,对于温漂和非线性校准基于外围分立器件的硬件校准,校准精度低。而MEMS数字压力传感器可以使用片上微处理器进行软硬件协同校准,校准精度高,同时可以通过微处理器的控制,能够达到性能最优化。本文基于实验室现有的ARM7TDMI微处理器的集成化设计,完成了一款低功耗、输出精度为18-Bit的MEMS压力传感器数字信号调理SoC（System on Chip）芯片设计。论文研究工作主要围绕着微处理器与各外设模块的通信交互展开,重点研究了数字降采样滤波器、压力校准算法、存储器组织结构以及软硬件协同控制的IIC（Inter-Integrated Circuit）串口设计。主要工作内容包括:（1）了解MEMS压力传感器的发展以及国内外的研究现状。深入研究了压阻式压力传感器的基本工作原理以及影响性能的非理想因素,介绍了当下主要采用的针对温度漂移和非线性补偿的校准算法,基于现... 

【文章页数】：76 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

APB接口协议Figure4-1APBInterfaceProtocol

数字降采样滤波器仿真图

EEPROM写时序仿真图

【参考文献】：
期刊论文
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硕士论文
[1]MEMS压阻式压力传感器的DSP数字补偿技术应用研究[D]. 许辉铭.厦门大学 2014
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[3]基于AMBA总线协议的APB Bridge设计[D]. 李杨.成都理工大学 2008
[4]MCU芯片的复位电路与多模式时钟系统设计[D]. 周小军.电子科技大学 2007
[5]压阻式压力传感器温度补偿的研究与实现[D]. 夏勇.西北工业大学 2006
[6]压力传感器的热零点漂移补偿与非线性修正[D]. 赵彦晓.河北工业大学 2003



本文编号：3685000