Pb(Zr 0.52 Ti 0.48 )O 3 /SrRuO 3 铁电隧穿结的制备与性能研究

发布时间：2022-10-05 23:07

　　采用脉冲激光沉积法（PLD）在（001）SrTiO₃基片上制备了基于Pb(Zr_0.52Ti_0.48)O₃/SrRuO₃/SrRuO₃（PZT/SRO）的铁电隧穿结。利用多种表征手段测试并分析薄膜微观结构及电性能。结果表明:PZT和SRO薄膜具有良好的取向结晶性,实现了薄膜的外延生长。8 nm PZT薄膜具有稳定的铁电性能,在外电场为7 500×10~3 V·cm^–1时,其剩余极化（2P_r）为3.79×10^–6C·cm^–2,矫顽场（2Ec）为4 300×10~3 V·cm^–1。室温条件下,隧穿结经±7 500×10~3 V·cm^–1电场极化后具有明显的隧穿电阻（TER）效应,室温下TER最高可达约126。 

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【文章目录】：
1实验方法
2实验结果与讨论
    2.1 PZT/SRO异质结的厚度表征
    2.2 PZT/SRO异质结的微观结构表征
    2.3 PZT/SRO异质结铁电性能分析
    2.4 PZT/SRO异质结C-E性能分析
    2.5 PZT/SRO异质结隧穿性能分析
3结论



本文编号：3686673