氧化镓微晶薄膜制备及其日盲深紫外探测器
发布时间：2022-12-11 21:09
采用射频磁控溅射技术和热退火技术在石英衬底上制备了微晶态Ga2O3薄膜。利用X射线衍射仪（XRD）、拉曼光谱（Raman）、紫外-可见-红外分光光度计（UV-Vis-IR）以及X射线光电子能谱仪（XPS）等手段对薄膜结构、光学特性以及化学组分进行了系统研究。结果表明,制备的Ga2O3薄膜呈非晶态,退火处理后,薄膜由非晶态转变为含β相Ga2O3的微晶薄膜,随退火温度升高,薄膜内部微晶成分不断增加,但最终在石英衬底上制备的薄膜并未全部转换成全晶态薄膜（β-Ga2O3）。基于非晶和微晶Ga2O3薄膜制备了金属-半导体-金属（MSM）结构的日盲深紫外探测器,发现非晶Ga2O3薄膜基器件表现出更高的光响应,而微晶Ga2O3薄膜基器件则具有更低的暗电流和更快的响应速度。
【文章页数】：7 页
【部分图文】：
(a)不同温度退火Ga2O3薄膜的XRD谱;(b)不同温度退火Ga2O3薄膜的Raman谱。
不同温度退火Ga2O3薄膜的透射光谱,插图为对应的薄膜带隙变化。
900 ℃退火Ga2O3薄膜的XPS谱。
【参考文献】：
期刊论文
[1]Review of gallium-oxide-based solar-blind ultraviolet photodetectors[J]. XUANHU CHEN,FANGFANG REN,SHULIN GU,JIANDONG YE. Photonics Research. 2019(04)
[2]Transition of photoconductive and photovoltaic operation modes in amorphous Ga2O3-based solar-blind detectors tuned by oxygen vacancies[J]. 张彦芳,陈选虎,徐阳,任芳芳,顾书林,张荣,郑有炓,叶建东. Chinese Physics B. 2019(02)
[3]Enhanced photoresponse performance in Ga/Ga2O3 nanocomposite solar-blind ultraviolet photodetectors[J]. 崔书娟,梅增霞,侯尧楠,陈全胜,梁会力,张永晖,霍文星,杜小龙. Chinese Physics B. 2018(06)
本文编号：3719505
【文章页数】：7 页
【部分图文】：
(a)不同温度退火Ga2O3薄膜的XRD谱;(b)不同温度退火Ga2O3薄膜的Raman谱。
不同温度退火Ga2O3薄膜的透射光谱,插图为对应的薄膜带隙变化。
900 ℃退火Ga2O3薄膜的XPS谱。
【参考文献】：
期刊论文
[1]Review of gallium-oxide-based solar-blind ultraviolet photodetectors[J]. XUANHU CHEN,FANGFANG REN,SHULIN GU,JIANDONG YE. Photonics Research. 2019(04)
[2]Transition of photoconductive and photovoltaic operation modes in amorphous Ga2O3-based solar-blind detectors tuned by oxygen vacancies[J]. 张彦芳,陈选虎,徐阳,任芳芳,顾书林,张荣,郑有炓,叶建东. Chinese Physics B. 2019(02)
[3]Enhanced photoresponse performance in Ga/Ga2O3 nanocomposite solar-blind ultraviolet photodetectors[J]. 崔书娟,梅增霞,侯尧楠,陈全胜,梁会力,张永晖,霍文星,杜小龙. Chinese Physics B. 2018(06)
本文编号：3719505
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