基于计算全息的无衍射光莫尔条纹三自由度测量方法研究

发布时间：2023-03-04 15:50

　　针对工作台运动误差,提出了一种基于计算全息的无衍射光莫尔条纹三自由度测量方法。通过液晶空间光调制器(SLM)生成无衍射光,利用两束无衍射光干涉生成莫尔条纹。设计了无衍射光莫尔条纹三自由度测量光路,建立了三自由度运动误差数学模型,并用几何分析法将三种运动误差(偏摆角、滚转角和俯仰角)进行分离。利用旋转台模拟不同大小的三自由度运动误差,带有误差信息的无衍射光和莫尔条纹图案分别由CCD1和CCD2接收。实验结果表明,通过光斑中心偏移量计算出的实际运动误差值接近理论值,测量误差不超过0.0104°,验证了无衍射光莫尔条纹三自由度测量系统的可行性与正确性。

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【文章目录】：
1 引言
2 测量理论
    2.1 无衍射光莫尔条纹特性
    2.2 三自由度测量系统
    2.3 三自由度运动误差分离
        1)CCD1中光斑位置变化
        2)CCD2中光斑位置变化
3 实验验证
4 结论



本文编号：3754562