基于ZnO微型多功能传感器的制备及性能研究

发布时间：2023-04-28 23:12

　　以二乙基锌(DEZ)和水(H₂O)为前驱体,采用原子层沉积方法在玻璃微球基底上沉积ZnO薄膜,得到核壳结构的ZnO包覆微球。以该微球为核心构筑传感器件,研究了器件的紫外、温度响应特性。由于ZnO固有的光电效应以及对O₂的吸附和解吸作用,该器件显示出较为灵敏的紫外响应特性;由于ZnO独特的热释电效应,该器件能够灵敏地响应温度变化,电流变化率的灵敏度为7.80%/℃。进一步将其应用于人体呼吸的实时检测,实现了对不同人体热活动状态的区分与监测,可广泛应用于医疗和健康领域。

【文章页数】：5 页

【文章目录】：
1 实验部分
    1.1 仪器及试剂
    1.2 传感器的制备
        1.2.1 基底的表面活化
        1.2.2 Zn O包覆微球的制备
        1.2.3 基于Zn O包覆微球的微传感器的组装
    1.3 结构表征与性能测试
        1.3.1 形貌结构及组分表征
        1.3.2 传感性能测试
2 结果与讨论
    2.1 结构与成分表征
    2.2 基于Zn O包覆微球的传感器的传感性能
        2.2.1 紫外响应
        2.2.2 温度响应
3 结论



本文编号：3804676