基于网格上随机行走法的集成电路寄生参数提取

发布时间：2023-05-06 20:21

　　目前集成电路的信号频率在不断地提高,同时工艺特征尺寸也在不停地缩小。在集成电路发展初期很多不受关注的物理效应逐渐地影响了集成电路电路性能的提升,其中的代表性因素就是互连寄生效应。再加之某些工艺会对芯片平整度有一定的需求,需要增加悬浮导体解决。而悬浮导体的增加也会导致寄生效应的增强,因而寄生参数的提取显得尤为重要。现有的寄生参数提取方法中各有优劣,其中浮动随机行走法理论精度最高,没有离散误差,可以高度并行化,但收敛速度慢,对于复杂的几何外形、复杂的材料难以适应,对于非曼哈顿结构的处理效率不高。而离散几何法、有限元法等方法是基于体离散的方法,能够天然地适应复杂形状和复杂材料,然而该类方法形成的线性方程组却很难并行化计算。本文利用浮动随机行走法在每次行走之间几乎没有相关性,可高度并行化的特点,将其引入能够适应多媒质复杂结构的离散外微分框架之中,从待考察空间点出发在空间随机行走并在到达边界终止,用数理统计的方法统计出终止在各边界上的概率,并以其作为权重计算出目标空间点的场分布,并最终获得各种物理量值。该方法虽然精度也取决于网格,但是求解仍保持高效,且其占用存储空间非常少,并在求解局部场分布、大...

【文章页数】：75 页

【学位级别】：硕士

【文章目录】：
摘要
Abstract
第一章 绪论
    1.1 集成电路发展状况及寄生参数提取的地位
    1.2 参数提取方法及发展现状
    1.3 全文结构
第二章 寄生参数提取离散外微分算法框架
    2.1 寄生参数提取主要方法
    2.2 有限元法及离散几何法
    2.3 随机行走法
    2.4 本章小结
第三章 随机方法及其参数提取应用
    3.1 随机行走法及马尔科夫链
    3.2 网格上的随机行走算法计算物理场分布
    3.3 网格上的随机行走算法提取寄生参数
    3.4 算例
    3.5 浮动导体的分析
    3.6 本章小结
第四章 敏感度参数提取及随机方法
    4.1 敏感度方法
    4.2 敏感度分析矩阵
        4.2.1 有限元法
        4.2.2 离散几何法
    4.3 随机方法提取参数的行走复用至敏感度计算
    4.4 算例分析
    4.5 本章小结
第五章 结论
    5.1 全文总结
    5.2 展望
图表索引
参考文献
致谢



本文编号：3809549