基于线性CCD自适应成像的光刻机平台调平方法研究
发布时间：2023-10-06 19:20
光刻机技术是现代电子信息技术的核心,而光刻机平台调平技术又是光刻机技术中不可或缺的一部分。利用光刻机平台调平技术对光刻机平台进行调平,将有助于提高光刻过程中光刻曝光的质量。目前传统的光刻机平台调平技术,主要以基于光路反射的光刻机调平为主,对于光路设计和硬件实现的要求很高,而且较为容易受到实验环境的干扰。此外,目前普遍采用的成像检测设备是线性CCD,而线性CCD比较容易受到实验过程中的速度干扰从而影响调平角度检测精度和效果。本文在传统的光刻机调平技术的基础上,提出了一种新的基于线性CCD自适应成像的光刻机平台调平方法。主要研究内容如下:1)基于线性CCD成像容易受到扫描速度扰动的干扰,本文设计了线性CCD自适应成像方法,使得线性CCD扫描成像抗干扰能力更强,从而增强了本文提出的调平方法的适应环境干扰的能力。2)为简化光刻机调平的硬件要求,在传统的基于光路反射的光刻机平台调平方法基础上,设计了基于垂直投影成像的倾斜角度计算方法。以线性CCD成像为基础进行调平角度计算,简化了传统的调平角度计算过程。3)本文利用raL8192-12gm型线阵相机、C++和C#等多种软件开发环境,通过软件和硬件...
【文章页数】：87 页
【学位级别】：硕士
【文章目录】：
摘要
abstract
第一章 绪论
1.1 课题研究的背景及意义
1.2 光刻机工作台控制系统
1.3 光刻机工作台调平技术研究现状
1.4 本文主要内容
第二章 基于CCD的光刻机调平系统
2.1 电荷耦合器件图像传感器介绍
2.1.1 CCD结构与成像原理
2.1.2 线性CCD与面阵CCD
2.1.3 扫描速度和扫描频率
2.2 基于线性CCD的光刻机平台调平系统
2.2.1 系统结构
2.2.2 系统原理
2.3 基于CCD的光刻机调平问题分析
2.3.1 扫描成像问题分析
2.3.2 倾斜角计算问题分析
2.4 基于CCD自适应成像的调平系统设计目标
2.5 本章小结
第三章 基于图像自适应分割的线性CCD变速扫描成像方法
3.1 传统线性CCD的二维成像及其问题
3.2 基于图像自适应分割的线性CCD二维变速成像方法总体设计
3.2.1 算法基本原理
3.2.2 算法基本结构
3.3 自适应区间分割
3.3.1 自适应区间分割原理
3.3.2 自适应区间分割具体方法
3.4 扫描速度曲线拟合
3.4.1 扫描速度曲线拟合原理
3.4.2 扫描速度曲线拟合具体方法
3.5 补偿系数计算方法
3.6 图像像素级插值变换
3.7 实验结果分析
3.7.1 实验环境及参数
3.7.2 标准速度匀速扫描成像实验
3.7.3 低速度低扰动变速扫描成像实验
3.7.4 低速度强扰动变速扫描成像实验
3.7.5 高速变速扫描成像实验
3.7.6 实验结论
3.8 本章小结
第四章 基于线性CCD成像的光刻机调平角度计算方法
4.1 基于线性CCD成像的光刻机调平角度计算模型
4.1.1 投影原理基础
4.1.2 平台倾斜度计算模型
4.1.3 平台倾斜度原理
4.2 图像信息提取模块
4.2.1 图像降噪处理方法
4.2.2 图像边缘锐化方法
4.2.3 图像信息提取方法
4.3 倾斜平面法线向量计算方法
4.4 X轴和Y轴两个方向的倾斜度计算方法
4.5 倾斜度计算实验结果
4.5.1 实验环境及实验参数
4.5.2 实验结果
4.5.3 实验结论及实验误差分析
4.6 本章小结
第五章 光刻机平台调平系统的实现
5.1 调平系统实现的总体架构
5.1.1 信息采集模块
5.1.2 倾斜角度计算模块
5.2 线性CCD控制过程总体架构
5.3 线性CCD硬件结构及触发模式介绍
5.3.1 线性CCD触发模式介绍
5.3.2 线性CCD触发方式设计方案
5.4 线性CCD控制软件设计
5.4.1 相机初始化软件设计
5.4.2 图像获取软件设计
5.5 调平角度计算软件设计
5.5.1 自适应扫描成像模块软件设计
5.5.2 倾斜角计算软件模块软件设计
5.6 本章小结
第六章 总结与展望
6.1 全文总结
6.2 后续工作展望
致谢
参考文献
攻读博士学位期间取得的成果
本文编号：3852313
【文章页数】：87 页
【学位级别】：硕士
【文章目录】：
摘要
abstract
第一章 绪论
1.1 课题研究的背景及意义
1.2 光刻机工作台控制系统
1.3 光刻机工作台调平技术研究现状
1.4 本文主要内容
第二章 基于CCD的光刻机调平系统
2.1 电荷耦合器件图像传感器介绍
2.1.1 CCD结构与成像原理
2.1.2 线性CCD与面阵CCD
2.1.3 扫描速度和扫描频率
2.2 基于线性CCD的光刻机平台调平系统
2.2.1 系统结构
2.2.2 系统原理
2.3 基于CCD的光刻机调平问题分析
2.3.1 扫描成像问题分析
2.3.2 倾斜角计算问题分析
2.4 基于CCD自适应成像的调平系统设计目标
2.5 本章小结
第三章 基于图像自适应分割的线性CCD变速扫描成像方法
3.1 传统线性CCD的二维成像及其问题
3.2 基于图像自适应分割的线性CCD二维变速成像方法总体设计
3.2.1 算法基本原理
3.2.2 算法基本结构
3.3 自适应区间分割
3.3.1 自适应区间分割原理
3.3.2 自适应区间分割具体方法
3.4 扫描速度曲线拟合
3.4.1 扫描速度曲线拟合原理
3.4.2 扫描速度曲线拟合具体方法
3.5 补偿系数计算方法
3.6 图像像素级插值变换
3.7 实验结果分析
3.7.1 实验环境及参数
3.7.2 标准速度匀速扫描成像实验
3.7.3 低速度低扰动变速扫描成像实验
3.7.4 低速度强扰动变速扫描成像实验
3.7.5 高速变速扫描成像实验
3.7.6 实验结论
3.8 本章小结
第四章 基于线性CCD成像的光刻机调平角度计算方法
4.1 基于线性CCD成像的光刻机调平角度计算模型
4.1.1 投影原理基础
4.1.2 平台倾斜度计算模型
4.1.3 平台倾斜度原理
4.2 图像信息提取模块
4.2.1 图像降噪处理方法
4.2.2 图像边缘锐化方法
4.2.3 图像信息提取方法
4.3 倾斜平面法线向量计算方法
4.4 X轴和Y轴两个方向的倾斜度计算方法
4.5 倾斜度计算实验结果
4.5.1 实验环境及实验参数
4.5.2 实验结果
4.5.3 实验结论及实验误差分析
4.6 本章小结
第五章 光刻机平台调平系统的实现
5.1 调平系统实现的总体架构
5.1.1 信息采集模块
5.1.2 倾斜角度计算模块
5.2 线性CCD控制过程总体架构
5.3 线性CCD硬件结构及触发模式介绍
5.3.1 线性CCD触发模式介绍
5.3.2 线性CCD触发方式设计方案
5.4 线性CCD控制软件设计
5.4.1 相机初始化软件设计
5.4.2 图像获取软件设计
5.5 调平角度计算软件设计
5.5.1 自适应扫描成像模块软件设计
5.5.2 倾斜角计算软件模块软件设计
5.6 本章小结
第六章 总结与展望
6.1 全文总结
6.2 后续工作展望
致谢
参考文献
攻读博士学位期间取得的成果
本文编号：3852313
本文链接：https://www.wllwen.com/kejilunwen/dianzigongchenglunwen/3852313.html
