高频MEMS阵列耦合谐振器相关性能研究

发布时间：2024-03-02 02:45

　　现代无线通信技术的飞速发展使得无线电频谱资源比较匮乏,因此对于通信设备有了更为严格的要求。目前,对于易加工、重量轻、体积小、成本低、高品质因数且易于集成的无源滤波器的研究也成为微波技术领域的热点。随着MEMS(微机电系统)技术的快速发展,MEMS谐振器谐振频率、滤波器的运动电阻、功率处理能力等参数已经能够达到无线通信的技术要求。与此同时研究表明耦合谐振器阵列有助于降低运动电阻、提高功率处理能力等。据此,本论文的主要研究内容包括:首先分析了圆盘谐振器阵列的排列方式及耦合梁的分布情况对MEMS阵列耦合谐振器性能的影响,得出谐振器阵列的布局方式并不会影响到谐振频率,而阵列中耦合梁数目会对谐振频率产生线性影响的结论。因此继续仿真分析了阵列耦合圆盘个数对阵列谐振器的影响。结果表明由2个圆盘谐振器构成阵列耦合谐振器时,阵列整体谐振频率相对于单圆盘谐振器会产生一个较大的偏移达231.9ppm,对于圆盘耦合阵列谐振器,耦合圆盘个数越多的情况下,单圆盘谐振器的增加或减少对耦合阵列整体谐振频率的改变程度越小。也就是说对于圆盘耦合阵列谐振器,耦合圆盘个数越多的情况下,单圆盘谐振器的个数变化对耦合阵列整体谐振...

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【学位级别】：硕士

【部分图文】：

图1.10平板谐振器示意图

图1.10平板谐振器示意图谐振器最早由VTT实现，如图1.10所示、提高电容。VTT利用这种结构实现了第容及工作安排S谐振器阵列的相关性能，分析了MEMS的影响。并且设计了一种基于硅衬底空腔振器。最后，本文分析了DRIE工艺下的出一种半高型耦合梁设计结构。以....

图2.3圆盘径向振动模态图

盘每单位径向位移对应的输入电极-圆盘间电容改表示为1()=01011=00102况下输入电极与圆盘间的电容，即0=ε0πRh/d。数展开，表达式如下1=00(112233)1=20，....

图2.8酒杯式盘谐振器振动模态形变分布图

19图2.8酒杯式盘谐振器振动模态形变分布图振动模态形变分布如图2.8所示，从图中可以看出运动，是一种复合振动模式，所以除了圆盘中心节意的是，酒杯式盘谐振器在振动节点处位移为零。，使其具备更高的品质因数[48]，支撑梁通常被固定谐振频率可以由振动模式方程得到Ψ(/....

图3.8耦合阵列谐振器不同排列方式对谐振频率的影响

图3.8耦合阵列谐振器不同排列方式对谐振频率的影响，Mode1-Mode10排列方式下的阵列耦合谐振器谐振频率数目开始增多时（Mode10-Mode16），阵列耦合谐振器谐似线性变大。结果表明谐振器阵列的布局方式并不会影会对谐振频率产生线性影响。因此在设计中可以参照工可通过....

本文编号：3916206