一种基于微流道散热器的自适应散热微系统

发布时间：2024-04-19 21:44

　　随着功率芯片的功率增大,散热问题日益突出。针对功率芯片热流密度大、温度波动大、阵列芯片间温度差异大的问题,本文提出了一种基于微流道散热器的自适应散热微系统。通过在微流道散热器的流道底部集成温度传感器,实现了微流道内温度的实时监测和控制;通过整个系统的闭环反馈控制,并结合自适应控制算法,使微流道散热器的温度始终保持在一个设定温度基本不变。该系统具有散热能力强、温度控制精确、时间尺度上的温度均匀性好的优点,可以显著提高功率芯片的稳定性,适用于电子芯片、功率器件或其他设备的热管理使用。

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【部分图文】：

图1集成温度传感器的微流道散热器结构示意图

对于整个系统而言,微流道散热器是散热核心,设计的微流道散热器模型如图1所示。其中温度传感器直接集成在散热器的微流道底部,可以实时准确监测散热器内部温度。微流道散热器在硅片上制作,采用激光刻蚀制作微流道,制作好的微流道如图2所示。温度传感器为Ti/Pt/Cr/Au金属薄膜温度传感器....

图2微流道SEM示意图

微流道散热器在硅片上制作,采用激光刻蚀制作微流道,制作好的微流道如图2所示。温度传感器为Ti/Pt/Cr/Au金属薄膜温度传感器,采用环绕线圈的结构,先用UV8-3000光刻胶进行光刻,再通过磁控溅射和电子束蒸发沉积Ti/Pt/Cr/Au金属层,然后使用丙酮溶剂进行剥离,最后得到....

图3(a)制备完成的微流道散热器;(b)出入水口处的

自适应散热微系统的结构框图如图4所示,这套系统包括微流道散热器、压电微泵、集成温度传感器、数据采集模块、驱动模块及自适应控制程序。图4自适应散热微系统结构框图

图4自适应散热微系统结构框图

图3(a)制备完成的微流道散热器;(b)出入水口处的

本文编号：3958420