基于AZO电极的透明和柔性TFT研究

发布时间：2024-05-27 04:10

　　透明柔性电子器件因可弯曲和视觉观感好等优点,使之具有广阔的应用前景。实现可弯曲、透明和无毒薄膜晶体管(TFT)是绿色透明柔性显示的关键。本论文主要对基于掺铝氧化锌(AZO)电极的透明和柔性TFT制备工艺进行了研究,通过设计新型电极结构、优化制备手段和工艺参数,实现制备高透射率、高性能和可弯曲TFT器件。本文首先设计了一种物理气相沉积(PVD)制备的AZO/Al/AZO/Al/AZO叠层透明源漏电极,其中纳米Al中间层提供的载流子可提高薄膜导电性;并且Al层和AZO之间的等离子耦合效应可改善透射率。实验结果表明,当在60 nm AZO中插入2层4 nm的Al层时,叠层薄膜的透射率可达82.64%,其薄膜电阻率为6.64×10^-3??cm,功函数降低至3.95 eV。采用PVD的透明叠层源漏极IGZO-TFT器件饱和迁移率(μ_sat)为3.2cm² V^-1s^-1,开关比为1.59×10⁶,透射率为72.5%。其后,开展了室温工艺脉冲激光沉积(PLD)制备AZO...

【文章页数】：77 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

图1-1（a）三星55英寸透明显示屏；（b）京东方0.03mm厚柔性显示屏；（c）LG公司77英寸透明柔性显示屏

明柔性显示技术广泛的应用于可穿戴手机、汽车挡风玻璃和内置皮肤传感器等领域。2003年，Wager,J.F.和Hoffman,R.L.[13,28]首次发表了关于透明ZnO-TFT的相关论文，并提出透明电子学的概念；2004年，Nomura,K.[14]使用脉....

图1-2MOSFET的结构

第一章绪论破性进展，标志着透明柔性显示技术日趋成熟。究者对于透明柔性显示的探索都聚焦于TFT器件显示器的重要组成部件之一，它在显示器中主要构类似于图1-2中所示的金属-氧化物半导体场orField-EffectTransistor，MOSFET），主要包括极。如图....

图4-11（a）磁控溅射[85]

0T1的（a）PBS和（b）NBS结果；PLD-AZO-TFT的（c）PBS和（d）NBS结果；（VG=+10V）和NBS（VG=-10V）下TFT的Von漂移移；（f）未图型化的TFT在300nmnm波长范围内的透射光谱图4-10(a)....

图4-14有着AZO栅极电极TFT的结构示意

图4-14有着AZO栅极电极TFT的结构示意Figure4-14SchematicmapoftheTFTwithAZOgateelectrod对TFT的影响PLD-AZO薄膜电学性能优于PVD法制备的F1薄PLD-AZO，优异的电学....

本文编号：3982755