光学薄膜激光损伤阈值的智能检测研究

发布时间：2025-01-01 01:03

　　 为了解决当前光学薄膜激光损伤阈值检测方法准确性差、可视化和灵活性不理想等难题,提出基于软件测试算法的光学薄膜激光损伤阈值检测方法。首先计算损伤阈值最终不确定度,并将不确定度计算结果代入损伤阈值检测中,然后利构成测量光路,激光在透镜上聚焦照射到待测样品上,根据测试软件程序对激光照射前后的图像进行预处理,判断是否存在损伤,若存在损伤,结合高斯光束理念获取有效光斑面积,最后损伤阈值,并进行了仿真实验,结果表明,该方法检测准确率和可视化程度高,且灵活性强。

【文章页数】：5 页

【部分图文】：

图1 光学薄膜激光损伤阈值检测图

基于上述损伤阈值相对合成不确定度分析，引入软件测试算法，完成光学薄膜激光损伤阈值检测。图1是光学薄膜激光损伤阈值检测图。根据图1可知，经衰减之后的激光会在透镜上进行聚焦并照射在二维平移台面待测样品上，测量光路根据半导体激光器和扩束镜和CDD相机等部分构成。CDD与电脑连接，根据测....

图2 损伤阈值检测显示界面

软件测试算法下损伤阈值检测显示界面如图2所示:图2中的显示界面主要包含两部分功能，一部分为阈值查询模块，另一部分为阈值计算模块。

图3 不同方法损伤阈值检测准确性对比

为验证基于软件测试算法的光学薄膜激光损伤阈值检测方法有效性，进行一次实验。实验过程中，利用文献[5]方法和文献[6]方法在以下方面进行对比实现。实验使用的薄膜样本一致，其中，镀膜基片是40mm×50mm的K9光学玻璃，样品表层粗糙程度小于1nm。利用酒精和乙醚混合溶液清理样....

图4 不同方法可视化程度对比

图4为不同方法可视化程度对比。由图4可看出，本文方法可视化程度要远高于文献方法。本文方法为了增强检测过程可视化性能，依据损伤阈值检测流程设计了可视化界面，为增强方法整体运行性能提供了可靠支撑。图4不同方法可视化程度对比

本文编号：4021812