LED晶圆贴片过程中压力的二阶段模糊决策与控制
本文关键词：LED晶圆贴片过程中压力的二阶段模糊决策与控制，由笔耕文化传播整理发布。
【摘要】：针对LED晶圆贴片过程,设计一种利用阀门的开关和开度控制气缸内气压的压力控制系统,提出一种多目标分阶段决策和控制的方法,实现活塞运动和加压控制.根据活塞的位移和压力,采用逻辑决策方法,选择需要控制的阀门.根据规划压力与实测压力的差值及其差值变化率,利用模糊自适应PID控制方法控制阀门的开度.采用半张量积的方法将逻辑决策和模糊控制中的推理转变成矩阵形式,以简化运算量,提高运算速度和控制精确度.
【作者单位】： 中国科学院自动化研究所精密感知与控制研究中心;齐鲁工业大学电气工程与自动化学院;
【关键词】： LED晶圆贴片 模糊决策和控制 压力控制 半张量积
【基金】：国家自然科学基金项目(61227804;61105036)
【分类号】：TN312.8
【正文快照】： 0引言对于LED芯片的生产,人们对其精密性要求越来越高,这就需要提高LED晶圆表面的平整度、光滑度和洁净度.化学机械抛光(CMP)是目前最有效的晶圆平坦化技术[1-3].LED晶圆在抛光之前需要将LED晶圆片粘贴到一块粘贴盘上,在LED晶圆粘贴过程中,为控制粘贴的质量,需控制其加压机构
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 段培永;吕红丽;冯俊娥;刘聪聪;李慧;;室内热舒适环境的模糊关系矩阵模型控制系统[J];控制理论与应用;2013年02期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 葛爱冬;王玉振;魏爱荣;刘红波;;多变量模糊系统控制设计及其在并行混合电动汽车中的应用(英文)[J];控制理论与应用;2013年08期
2 李海涛;王玉振;;切换奇异布尔网络的稳定性分析(英文)[J];控制理论与应用;2014年07期
3 吕红丽;花晓慧;段培永;张淳军;;基于室内动态热舒适度的空调模糊控制[J];山东建筑大学学报;2014年05期
4 徐美荣;王玉振;;Conflict-free着色问题及其在频率分配中的应用[J];山东大学学报(工学版);2015年01期
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 葛爱冬;基于矩阵半张量积方法的模糊系统分析与设计[D];山东大学;2013年
2 李海涛;切换布尔网络的分析、控制及应用[D];山东大学;2014年
3 刘振斌;基于矩阵半张量积方法的混合值逻辑网络的控制与应用[D];山东大学;2014年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 宁晨光;地源热泵水系统的控制装置开发[D];山东建筑大学;2014年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 ;An adaptive fuzzy design for fault-tolerant control of MIMO nonlinear uncertain systems[J];Journal of Control Theory and Applications;2011年02期
2 周平;柴天佑;;多变量解耦控制的工业过程运行层次控制方法[J];控制理论与应用;2011年02期
3 师五喜;;未知多变量非线性系统自适应模糊预测控制[J];控制理论与应用;2011年10期
4 朱康武;顾临怡;;作业型遥控水下运载器的多变量backstepping鲁棒控制[J];控制理论与应用;2011年10期
5 程代展;齐洪胜;赵寅;;布尔网络的分析与控制—矩阵半张量积方法[J];自动化学报;2011年05期
6 李慧;张庆范;段培永;;基于用户学习的智能动态热舒适控制系统[J];四川大学学报(工程科学版);2011年02期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 史鸿钊;基于预测算法的室内空气调节[D];重庆大学;2008年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 谢瀚逸;;白光LED蓄势待发、精彩可期[J];电子技术;2007年06期
2 熊文军;;户外LED广告投放探析[J];新闻爱好者;2010年24期
3 ;第二届超高亮度发光二极管(LED)和半导体照明产业发展与应用论坛征文启事[J];液晶与显示;2005年05期
4 方佩敏;;LED是怎样发出白光的[J];电子制作;2006年10期
5 谷青;;将来白光LED可能会达到的水平[J];光源与照明;2007年01期
6 王德刘;傅仁利;何洪;宋秀峰;沈源;;白光LED用光转换材料的研究与发展[J];材料导报;2007年08期
7 ;白光LED专利网薄弱化引发市场混战[J];电源世界;2007年04期
8 ;康佳LED:产业布局提速造百亿增长点[J];光机电信息;2008年12期
9 ;雷曼光电低衰减的白光LED给照明带来无限生机[J];现代显示;2008年Z1期
10 杨军平;吴欣慧;秦长海;;LED智能照明控制系统的设计[J];电子产品世界;2009年06期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 夏长泰;;白光LED新型荧光衬底的探索与制备[A];第15届全国晶体生长与材料学术会议论文集[C];2009年
2 李胜利;苏科;张丽;张弈;何柱国;;音乐调制LED植物生长器的研究[A];中国科协2005年学术年会生物物理与重大疾病分会论文摘要集[C];2005年
3 肖志国;;白光LED用新型发光粉和芯片研究进展[A];第11届全国发光学学术会议论文摘要集[C];2007年
4 张继辉;;浅谈半导体发光二极管(LED)及其应用[A];中国电子学会可靠性分会第十四届学术年会论文选[C];2008年
5 彭万华;;超高亮度和白光LED在祖国大陆的现状及发展[A];海峡两岸第十届照明科技与营销研讨会专题报告文集[C];2003年
6 郭子菱;;LED特殊照明应用——植物照明新商机[A];海峡两岸第十七届照明科技与营销研讨会专题报告暨论文集[C];2010年
7 余仕文;;高性能q惫绦圆牧霞捌湓跇EDt氨Ｉ现產捎肹A];2010年海峡两岸功能性复合材料论坛论文集[C];2010年
8 张万生;赵敏;;白光LED失效机理的研究[A];第二届中国包头·稀土产业论坛专家报告集[C];2010年
9 蒋吉强;唐德良;李治强;;影响白光LED衰减的关键因素研究[A];首届珠中江科协论坛论文集[C];2011年
10 蔡明诚;;广场、景观、应用LED新启示[A];2007年中国（厦门）LED照明与装饰论坛暨城市夜景建设研讨会论文集[C];2007年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 田凤;LED广告游船国庆亮相重庆两江[N];中国旅游报;2009年
2 本报记者 程久龙;“专利门”卡住中国LED 深圳企业抱团出击[N];21世纪经济报道;2010年
3 记者 郜天一;千元级LED电视“忽悠”消费者[N];哈尔滨日报;2011年
4 工业和信息化部软件与集成电路促进中心 罗佳秀 范兵 谢学军;采取灵活策略应对LED专利重压[N];中国电子报;2012年
5 蔡维希;新一代白光LED材料研发成功[N];中国化工报;2013年
6 诗文;台白光LED明年市场占有率达五成[N];电子资讯时报;2004年
7 邓楠 《金周刊》记者 丁一;未来新概念——白光LED让资本趋之若鹜[N];中国经营报;2001年
8 湖南 肖国平;维修白光LED台灯[N];电子报;2007年
9 许志顺 DigiTimes;台厂白光LED：难逃日厂专利紧箍咒[N];电子资讯时报;2006年
10 记者 万林 北京;白光LED迎来发展机遇 2008年将增长16%[N];电子资讯时报;2008年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 于音;白光LED用稀土离子掺杂荧光材料的制备及光谱性能研究[D];南开大学;2013年
2 严小松;白光LED用荧光材料的制备与性能研究[D];上海交通大学;2011年
3 王乐;白光LED高效封装结构及灯具级散热机理的研究[D];浙江大学;2012年
4 汤安;白光LED用含铟及铌酸钆红色荧光粉的发光性能研究[D];重庆大学;2012年
5 张建立;硅衬底氮化镓基黄光LED外延生长与器件性能研究[D];南昌大学;2014年
6 慈志鹏;几种LED用氧化物基荧光粉的制备和发光性能研究[D];兰州大学;2010年
7 肖芬;紫外激发白光LED荧光粉的制备及发光特性研究[D];华南理工大学;2011年
8 谷捚鑫;白光LED用氮系荧光粉的可控制备及发光性能调控[D];东华大学;2011年
9 李广环;白光LED用荧光粉的制备与性能研究[D];吉林大学;2012年
10 宋佳音;基于行人穿行的LED道路照明功效研究[D];天津大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李文杰;无线LED智能照明控制系统的低功耗研究与设计[D];华南理工大学;2015年
2 关沃欢;LED远程荧光膜片照明系统研究[D];华南理工大学;2015年
3 唐洪亮;基于YAG系荧光粉的白光LED可靠性研究[D];华南理工大学;2015年
4 陈思秋;白光LED用NaLaBB'O_6荧光粉的发光性能研究[D];陕西科技大学;2015年
5 张华健;LED白光在二次配光设计中的颜色均匀性研究[D];复旦大学;2013年
6 李荣玲;基于白光LED的可见光通信系统[D];复旦大学;2014年
7 常文瑞;紫外、近紫外白光LED用铝酸盐、硅酸盐发光材料的制备及发光性能研究[D];兰州大学;2015年
8 秦琳;暖白光LED用新型红色荧光粉的制备与性能研究[D];苏州大学;2015年
9 柳少华;暖白光LED用红色荧光粉的制备及发光性质研究[D];江西理工大学;2015年
10 牛雅亮;基于LED的便携式土壤有机质检测仪的研制[D];山西农业大学;2015年
本文关键词：LED晶圆贴片过程中压力的二阶段模糊决策与控制，，由笔耕文化传播整理发布。
本文编号：427279
本文链接：https://www.wllwen.com/kejilunwen/dianzigongchenglunwen/427279.html
