基于硅MEMS工艺的窄带带通滤波器的设计

发布时间：2017-06-07 20:07

  本文关键词：基于硅MEMS工艺的窄带带通滤波器的设计，由笔耕文化传播整理发布。

【摘要】：微波带通滤波器是微波通信系统中的关键器件。本文设计了一种利用硅MEMS腔体技术制作的微波窄带带通滤波器。采用交指结构四分之一波长短路谐振器级联结构,利用电磁场仿真设计软件HFSS进行了设计、建模、仿真和优化,得到了一款具有小型化、高抑制度、低插损、好的电磁屏蔽且易于集成等优点的硅MEMS腔体带通滤波器。
【作者单位】： 电子科技大学电子工程学院;
【关键词】： 硅MEMS技术 窄带 小型化 电磁屏蔽
【基金】：中央高校基本科研基金(A03011023801006002)
【分类号】：TN713.5
【正文快照】： 引言滤波器在射频/微波系统中起着选频滤波的重要作用。随着现代无线通信的迅速发展,微波频段作为一种信息资源被各种通信系统所分享利用,信道变得越来越拥挤,人们对具有小尺寸、重量轻、成本少、低损耗、多频带等优良性能的微波滤波器的需求更加迫切,这种情势不断推动着微波

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