三维阶梯结构微混合器设计、制作及性能分析

发布时间：2017-06-08 08:09

  本文关键词：三维阶梯结构微混合器设计、制作及性能分析，由笔耕文化传播整理发布。

【摘要】：为改善微纳尺度下流体的混合效果,在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基底材料上,设计制造了一款新型三维阶梯结构微混合器.混合器由一个T-型进样沟道和6个三维阶梯混合单元组成,采用超精密雕刻机在PMMA基片制作微米级结构,利用有机溶剂混溶浸泡法,在低温常压条件下键合得到.数值仿真结果表明:混合器效率受到台阶结构尺寸和流体速度的影响,当0.1≤Re≤5时,混合腔横截面的浓度方差σ0.1,接近充分混合;当流速在1~20 m L/h范围内时,将混合器用于微量溶液p H的调节取得了理想的结果.
【作者单位】： 微系统与微结构制造教育部重点实验室(哈尔滨工业大学);黑龙江工程学院电气与信息工程学院;
【关键词】： 微混合器 三维阶梯结构 混合效率 PMMA芯片制备 pH调节
【基金】：国家自然科学基金(61404036)
【分类号】：TN492
【正文快照】： 微流控芯片是利用MEMS技术,将微沟道、微储液池、混合器及检测器等功能单元,集成在几平方厘米大小的基底材料上,采用适当的键合方法将其封闭,从而实现对试样的富集、混合、分离和检测[1].与传统的分析检测方法相比,微流控芯片不但集成了如液体操控[2-3]、生化检测[4-5]、成分

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前3条

1 李冲;莫欣满;陈蓓;;阶梯结构PCB板面凹陷改善研究[J];印制电路信息;2013年S1期

2 盛柏桢;东芝开发三维IC技术[J];固体电子学研究与进展;1992年03期

3 ;[J];;年期

  本文关键词：三维阶梯结构微混合器设计、制作及性能分析，，由笔耕文化传播整理发布。

本文编号：431886