一种高电场激励效率的石英谐振元件设计

发布时间：2017-06-08 11:12

  本文关键词：一种高电场激励效率的石英谐振元件设计，由笔耕文化传播整理发布。

【摘要】：设计了一种谐振梁为双"W"截面形状的石英音叉谐振元件,通过在梁表面凹槽的两端设置深凹槽,有效提高了凹槽侧壁的陡直性,进而提高了电场的激励效率。经仿真对比,相对于"H"形截面的谐振元件,双"W"形截面的谐振元件的压电激励力提高约58%。设计了元件芯片工艺方案,并在直径鄜50cm的晶片上制作出两种截面形状的谐振元件。测试结果表明,双"W"形截面的谐振元件的品质因数(Q)值和导纳分别由2 387、2 143ns提高至2 648、2 346ns,动态阻抗值由548kΩ降至417kΩ。
【作者单位】： 中国电子科技集团公司第二十六研究所;重庆市固态惯性技术企业工程技术研究中心;重庆市固态惯性技术工程实验室;重庆通信学院;
【关键词】： 石英 谐振器 凹槽 电场激励效率 动态阻抗 品质因数(Q)
【基金】：重庆市青年科技人才培养计划基金资助项目(cstc2014kjrc-qnrc40003)
【分类号】：TN629.1
【正文快照】： 0引言微型谐振器作为一种输出固定频率的器件,广泛应用于多个领域。谐振元件是谐振器的核心元件,其尺寸大小及性能将直接决定谐振器的尺寸及性能。石英晶体材料[1]的品质因数(Q)高、温度稳定性好,可采用微加工工艺加工,常作为高温度稳定性谐振元件的基体材料。随着小型化趋势

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本文编号：432341