提取共面微波探针S参数的方法

发布时间：2017-06-08 17:13

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【摘要】：共面微波探针是裸芯片测量信号输入/输出的重要媒介,通过与晶圆片物理接触,建立起测量系统与芯片之间的信号连接通道。为了获得共面微波探针完整准确的S参数,设计并实现了"两步法"测量方案,首先在同轴端口进行校准,然后在探针尖端口进行第二步校准。通过与出厂数据进行对比分析,证明了方案的可行性,同时指出在片校准件预校准的重要性。另外,讨论了氧化铝和砷化镓两种材料在片SOLT校准件对于探针S参数提取中的影响,实验显示二者相角偏差达到39.8°,回波损耗呈现规则性的变化,全部测量数据的频段覆盖1~40 GHz,最终给出了优化的测量方案。
【作者单位】： 中国电子科技集团公司第十三研究所;南京电子技术研究所;
【关键词】： 共面波导 微波探针 裸芯片 S参数
【分类号】：TN407
【正文快照】： 引言共面微波探针自上世纪80年代问世以来,逐渐成为了半导体共面集成电路和分立器件芯片在片(on-wafer)检测技术的重要工具[1]。它的主要作用是将测量仪器(同轴接口)和半导体芯片相连,实现半导体芯片在解理、封装前,直接测量芯片的高频物理特性,达到晶圆片被测件优化、筛选的

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本文编号：433195