对影响外延片表面质量的若干问题的研究

发布时间：2017-06-09 17:07

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【摘要】：外延片作为制造多种分立器件的必须材料,其地位已愈发重要。外延片的表面质量对外延片整体质量有很大影响。本文对在外延片生产中,影响外延片表面,引起外延生产大部分不合格率的颗粒、暗点、滑移线等主要问题进行了研究,总结了批量生产中针对此类问题采取的预防改进措施。关注产品表面质量,减少或根除这些因素对外延片表面的影响,将对保证产品质量、提升产品合格率起到积极作用。
【作者单位】： 中国电子科技集团公司第四十六研究所;
【关键词】： 半导体硅外延材料 表面质量 颗粒 暗点 滑移线
【分类号】：TN304.054
【正文快照】： 外延片是制造多种分立器件的基础材料,其地位愈来愈重要。它作为笔者部门科研及生产的主要产品,严格把控其各项参数指标、表面质量,不断提升外延产品的质量与合格率是我们的责任也是我们不变的目标。目前我们的生产设备都是采用气相沉积法[1]进行外延生产。这种产品有其独特的

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本文编号：436093