高效率ArF准分子激光复合腔技术研究

发布时间：2017-06-12 05:05

  本文关键词：高效率ArF准分子激光复合腔技术研究，由笔耕文化传播整理发布。

【摘要】：短波长、高光子能量的Ar F准分子激光在集成电路光刻、材料加工、激光医学等领域具有重要的应用。结合线宽压窄技术方案设计了193 nm Ar F准分子激光器复合腔结构,理论分析了复合腔结构能量提升的原理。针对准分子激光器的长腔特性,提出了实现其复合腔窄带激光模式锁定的解决方案,并进行了实验验证。与通常插入色散元件的单窄带腔相比,锁定后的准分子激光复合腔在输出线宽基本不变的情况下能量提高了4.02倍,激光效率大幅提升,能量稳定性也大幅优化。
【作者单位】： 中国科学院光电研究院;北京市准分子激光工程技术研究中心;
【关键词】： 激光器 准分子激光器 复合腔 高效率 窄线宽
【基金】：国家自然科学基金(61405202) 北京市科技专项(Z141104004414069)
【分类号】：TN248
【正文快照】： 1引言由于准分子激光波长短、光子能量高,且常规材料对位于紫外波段的激光辐射具有较高的吸收率,因此准分子激光在集成电路光刻、精密微细加工及医疗等领域被广泛应用[1]。自1970年Basov等[2-4]利用强流电子束激发液态氙得到Xe准分子激光输出以来,深紫外波段准分子激光技术得

【参考文献】

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【共引文献】

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【二级参考文献】

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【相似文献】

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中国重要报纸全文数据库 前10条

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中国博士学位论文全文数据库 前5条

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中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 高健;用于皮肤治疗仪的308nm准分子激光系统的研究[D];合肥工业大学;2013年

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4 周景;308nm准分子激光对豚鼠皮肤黑素细胞的影响[D];山东大学;2007年

5 唐雯;一种基于PSD传感器的眼球跟踪系统[D];苏州大学;2010年

6 时涛;准分子激光微刻蚀加工的实验研究[D];华中科技大学;2004年

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本文编号：443284