半导体工艺实验室的建设与管理实践

发布时间：2017-06-15 05:08

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【摘要】：以建设一条"硅工艺教学生产线"为目标,中山大学建立了半导体工艺实验室。详细介绍了实验室的建设现状,包括分区设置和仪器配备,结合微电子专业特点,开设了有关课程。从三方面详细阐述了该实验室的建设和管理实践,分别是:建设规范化实验室、建设安全实验室和建设绿色实验室,有利于实验教学工作顺利、有效和安全地进行。最后,提出三个需要解决的问题,包括师资队伍的建设、实验室建设工作计划的完善和开放实验室制度的建立。该实验室的建设,完善了微电子专业的实验教学,有利于提高学生的实践能力和创新能力。
【作者单位】： 中山大学电子与信息工程学院;
【关键词】： 工艺实验室 规范化 安全管理 绿色实验室
【基金】：中山大学本科教学改革研究课题“集成电路制造工艺创新实验对学生科研能力的培养”(项目编号:30000-16300008)
【分类号】：TN4-4;G647
【正文快照】： 以集成电路为核心的微电子产业是信息化带动工业化、加快传统产业结构优化升级的关键技术和信息社会发展的基石,也是世界高科技竞争的制高点之一,在国民经济中占据着重要的地位[1]。其中集成电路产业是全球高新技术产业的前沿与核心,是最具活力和挑战性的战略产业。自2000年以

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