基于RSM的单晶Si高速线锯切割力试验研究

发布时间：2017-06-15 14:07

  本文关键词：基于RSM的单晶Si高速线锯切割力试验研究，由笔耕文化传播整理发布。

【摘要】：采用Box-Behnken Design(BBD)设计实验,研究高速线锯切割过程中线锯速度、进给速度和工件转速三个工艺参数对单晶Si切割力的影响,通过曲面响应法(Response surface methodology,RSM)建立单晶Si片切割力的响应模型,并进行方差分析,获得了高速线锯切割单晶Si过程中不同工艺参数对切割力的影响规律和切割力最小时的工艺参数。试验结果表明该模型能实现单晶Si切割过程的切割力预测。
【作者单位】： 西安理工大学机械与精密仪器工程学院;
【关键词】： 曲面响应法 单晶Si 切割力
【基金】：国家自然科学基金(51175442) 陕西省基金重点项目(2016JZ011) 陕西省重点实验室项目(2014SZS10-Z01) 西安市碑林区项目(102-433415010)
【分类号】：TN305.1
【正文快照】： (Received 27 April 2016,accepted 3 June 2016)1引言单晶Si由于良好的性能广泛应用于光伏和半导体产业领域,但由于其高的硬度和脆性,使其加工过程非常困难。单晶Si片的应用要求晶片表面无损伤、无缺陷、超平滑。切片作为加工流程的初始工序,其切割质量对后续的加工有着重要

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本文编号：452625