一种基于聚焦离子束技术的环境透射电镜光阑清理方法

发布时间：2017-06-24 11:15

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【摘要】：光阑是透射电子显微镜电子光学系统的重要部件之一,其对透射电镜的成像质量有着重要的影响,然而原位环境透射电镜由于在使用中经常需要通入气氛并配合加热,因污染累积导致光阑的使用寿命大为降低。本文针对传统真空高温灼烧清理光阑方法需要较强的经验性及成功率低的缺点,提出一种新的光阑清理方法。该方法使用聚焦离子束(FIB)可定点、高效地清理光阑孔边缘的各种污染物,在恢复光阑孔圆度的同时又不会对光阑的其他部分造成损伤而引起失效。最终测试结果表明清理后的光阑满足透射电镜的使用要求,因此这种基于FIB技术的加工手段为电镜工作者提供了一种高效、精确和无损的光阑清理方法。
【作者单位】： 西安交通大学材料学院微纳尺度材料行为研究中心;
【关键词】： 光阑 聚焦离子束 清理 透射电子显微镜
【基金】：国家自然科学基金资助项目(No.51231005)
【分类号】：TN16
【正文快照】： 光阑是透射电镜电子光学系统中的重要部件之一,其在电子光柱中连续受到高能电子束轰击而沉积污染物,沉积污染物会使光阑边缘偏离圆形,或边缘的绝缘污染物造成荷电效果,对成像产生显著影响。人们熟知的光阑包括聚光镜光阑,物镜光阑和选区光阑。物镜光阑一般置于物镜的后焦面上,

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本文编号：478003