激光诱导击穿光谱在薄膜损伤分析中的应用

发布时间：2017-06-26 01:02

  本文关键词：激光诱导击穿光谱在薄膜损伤分析中的应用，由笔耕文化传播整理发布。

【摘要】：提出了应用激光诱导击穿光谱技术对薄膜损伤特性进行表征的方法,研究了纳秒脉冲激光作用下薄膜损伤时的等离子体光谱特征,并应用该技术对薄膜的抗激光损伤特性进行了测量.实验测得,HfO2单层膜在78mJ的激光能量的辐照下,薄膜损伤时的等离子体温度为2 807.4K,且电子密度为7.4×1017cm-3.利用识别薄膜损伤时的等离子体光谱的特征,准确地判断了薄膜是否损伤,避免了薄膜损伤的误判现象.结果表明,激光诱导击穿光谱技术适用于薄膜的激光损伤测试中,并且是一种非常有效的测试分析方法.
【作者单位】： 南京理工大学电子工程与光电技术学院;西安工业大学光电工程学院;
【关键词】： 激光诱导击穿光谱 薄膜 激光烧蚀 激光诱导损伤 等离子体 光谱分析 温度
【基金】：国家自然科学基金(Nos.61378050,61205155) 科技部国际科技合作项目(No.2013DFR70620)资助~~
【分类号】：TN249;TB383.2
【正文快照】： 薄膜较易受到强激光的损伤而造成整个系统瘫痪,这0　引言已成为强激光发展的瓶颈之一[1].因此,对于薄膜激光光学元器件作为光学系统的核心部分,被广泛地损伤的研究已成为人们关注的焦点.应用于激光武器、激光制导、激光打标、激光测距等众近年来,对于薄膜的激光损伤研究主要集

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本文编号：484171