离线装料技术在直拉法硅单晶生产中的应用

发布时间：2017-06-27 17:14

  本文关键词：离线装料技术在直拉法硅单晶生产中的应用，，由笔耕文化传播整理发布。

【摘要】：直拉(CZ)单晶硅生长炉是目前世界上最主要的单晶硅生产设备,但其传统的装料工序存在着耗时长、成本高、安全系数低及产品质量低等隐患。采用离线装料技术可使产品合格率稳定在81.4%以上,单炉生产周期缩短了1h左右,单炉每月产能增加15kg,同时人力成本也得到了相应的控制,真正达到了降本增效的目的。
【作者单位】： 山西潞安太阳能科技有限责任公司;
【关键词】： 单晶硅 离线装料 直拉法硅单晶 降本增效
【基金】：山西省科技创新计划项目(2013101021)
【分类号】：TN304.12
【正文快照】： 引言直拉法(CZ)生产单晶硅是目前制备单晶硅的最主要方法。在单晶生产过程中,传统装料方法为炉前装料,即,以人工方式在单晶炉前将固态多晶硅料一块块地从炉体外转移到石英坩埚内,再进行合炉、真空检漏[1]。整个过程非常缓慢,而且装料过程中要避免硅料碎屑落入热场内,装料时间(

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本文编号：490600