用于离子敏场效应晶体管的生化参比电极研究进展

发布时间：2017-07-02 07:20

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【摘要】：近20年来,基于半导体离子敏场效应晶体管(ISFET)的生化传感器研究越来越引起人们的关注,目前利用ISFET能够实现对p H、金属离子、血糖、基因和蛋白质等的检测。为了使检测结果准确,在检测过程中需要参比电极保持试液电势稳定。综述了ISFET和传统参比电极的工作原理,分析了参比电极对ISFET检测系统的必要性和传统参比电极的可靠性。介绍了多种易于在芯片上集成的微型化参比电极和参比电极系统并探讨了他们的特点。对ISFET电路模型进行了分析并提出了一种基于微流控技术的金属参比电极系统,结合仿真结果认为微流型金属参比电极系统的尺寸可以控制在毫米量级,具有良好的应用前景。
【作者单位】： 复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室;
【关键词】： 离子敏场效应晶体管(ISFET) 生化传感器 参比电极 微型化 微流控
【基金】：国家自然科学基金资助项目(61474028)
【分类号】：TN386
【正文快照】： 0引言过去的几十年里,在摩尔定律的指导下,微电子技术以惊人的速度迅猛发展[1],从最初的微米量级发展到今天的纳米量级,单个微电子器件的制作成本一再下降,推动了集成电路工业的兴起。与此同时,生物技术、化学工艺技术等与微电子技术结合后进一步促进了新技术的创新,比如利用

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本文编号：508977