248nm准分子激光加工玻璃微通道的实验研究

发布时间：2017-07-03 16:36

  本文关键词：248nm准分子激光加工玻璃微通道的实验研究

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【摘要】：为了提高玻璃微通道的加工效率及质量,采用248nm准分子激光加工玻璃微通道的新型加工方法进行了理论分析和实验验证,取得了不同激光参量下玻璃微通道的加工工艺数据。结果表明,激光加工玻璃微通道的刻蚀阈值为4.54×103m J/mm2;随着激光能量的增加,刻蚀深度近似成对数增长,经线性拟合得到刻蚀深度随激光能量变化的公式;随着脉冲频率的增加,刻蚀深度近似成线性增长,经线性拟合得到刻蚀深度随频率变化的公式;且通道底面粗糙度随激光能量及脉冲频率的增加,呈增长趋势;激光的能量在400m J~600m J、脉冲频率在4Hz~7Hz范围的组合激光参量可实现刻蚀率高、粗糙度小的微通道加工。这些结果对于合理选择激光参量、提高玻璃微通道的加工效率及质量是有帮助的。
【作者单位】： 北京工业大学激光工程研究院;
【关键词】： 激光技术 玻璃微通道 nm激光 激光参量 刻蚀效率 刻蚀质量
【基金】：北京市自然科学基金资助项目(4132017) 科技部国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(2011YQ030112)
【分类号】：TQ171.6;TN249
【正文快照】： 引言微通道是微纳米技术的研究重点,它广泛应用于血液分析、DNA分析、化学分析[1-4]等多个方面。目前微通道材料主要有玻璃、硅及其氧化物、聚合物等3种类型,其中玻璃具有较好的机械强度、散热性、电渗性和透光性,且制造成本低廉,可进行批量化生产,在微通道制作中应用广泛。玻

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