柔性PET衬底上ZnO薄膜的制备、电学性质及激光辐照效应

发布时间：2017-07-06 06:28

  本文关键词：柔性PET衬底上ZnO薄膜的制备、电学性质及激光辐照效应

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【摘要】：室温下采用中频反应磁控溅射技术在柔性PET(Polyethylene terephthalate)衬底上沉积了ZnO薄膜。研究了溅射功率和氩氧流量比对薄膜电学性质的影响,获得室温沉积柔性ZnO薄膜的优化工艺条件为溅射功率20 W和氩氧流量比1:1。采用不同能量密度的激光辐照,有效改善了柔性ZnO薄膜的晶体结构和电学性能。原子力显微镜(AFM)和X射线衍射(XRD)测试结果显示,激光辐照可使薄膜表面ZnO颗粒产生团聚融合,并在(100)和(101)晶面上产生明显的取向生长,薄膜由非晶转为多晶结构。Hall性质的研究结果表明,激光辐照可有效提高ZnO薄膜的载流子浓度,降低电阻率,改善室温沉积柔性ZnO薄膜导电性能。
【作者单位】： 华东理工大学物理系;
【关键词】： ZnO薄膜 柔性PET衬底 激光辐照 电学性质 微观结构
【分类号】：O484;TN304.21
【正文快照】： ZnO作为一种常用的功能性材料,因其原料丰富、廉价、无毒且化学稳定性高而被广泛应用于各种半导体器件的制作。随着在硬质基底上沉积技 术的成熟,新型柔性半导体薄膜器件逐渐成为人们关注的焦点。在有机柔性衬底上沉积的ZnO基薄膜具有重量轻、可弯曲、耐冲击和可大面积生产等

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本文编号：525111