基于RF MEMS开关的4位分布式移相器的设计

发布时间：2017-07-06 18:23

  本文关键词：基于RF MEMS开关的4位分布式移相器的设计

  更多相关文章： RF MEMS开关 微电子机械系统 Ka波段 移相器

【摘要】：RF MEMS移相器与传统移相器相比,具有低损耗、频带宽、微型化,同时与IC、MMIC电路易于集成等特点,文中设计一种Ka波段DMTL型RF MEMS移相器,采用了15个MEMS电容式并联开关,同时在MEMS开关中加入MIM电容,实现了4位相移。文中对Ka波段4位RF MEMS移相器进行设计与分析,通过MEMS开关的切换实现信号延迟通路,0~180°步进22.5°的相移功能。通过改变驱动电压从而调整MEMS桥的高度,仿真测得开关理论下压电压为18.9 V。仿真结果表明在中心频率31 GHz时,其插入损耗大于-2.2 d B,回波损耗小于-25 d B,相移误差在1.5°范围内,移相器具有较好的移相性能。
【作者单位】： 合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心;
【关键词】： RF MEMS开关 微电子机械系统 Ka波段 移相器
【基金】：国家863计划资助项目(2013AA041101)
【分类号】：TN623
【正文快照】： 0引言微波和毫米波移相器在相控阵天线的电信部件和雷达中是必不可少的应用,随着近年来MEMS技术的发展,与基于铁氧体材料,PIN二极管或场效应晶体管(FET)开关移相器相比,RF MEMS移相器具有宽频带、高线性度、损耗小和超小型化,同时与IC、MMIC电路易于集成等特点,因此RF MEMS移

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 李炜,石艳玲,朱自强,赖宗声;微波MEMS移相器的特性分析与实现[J];半导体技术;2003年11期

2 娄建忠,赵正平,杨瑞霞,吕苗,胡小东;射频微机械移相器[J];半导体技术;2004年10期

3 周英平;刘祖望;王荣博;;新型数字移相器的设计[J];计算机工程与设计;2006年11期

4 黎步银;庞晓玲;黄兆祥;;向列型液晶移相器[J];电子元件与材料;2007年05期

5 唐恺;吴群;杨国辉;孙凤林;傅佳辉;马伟;;一种新型MEMS移相器设计[J];遥测遥控;2007年05期

6 王道档;杨甬英;刘东;田超;骆永洁;卓永模;;压电移相器的空间旋转误差建模与实验分析[J];光电子.激光;2009年05期

7 王倡献;熊祥正;肖华清;;一种90°分布式MEMS移相器的设计[J];微计算机信息;2009年26期

8 赵世巍;唐宗熙;张彪;;一种新型的六位数字移相器的设计[J];电子测量与仪器学报;2010年01期

9 刘sチ，

本文编号：527329