基于激光扫描法的非接触式光学元件曲率半径测量系统

发布时间：2017-07-27 01:19

  本文关键词：基于激光扫描法的非接触式光学元件曲率半径测量系统

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【摘要】：介绍了基于激光扫描法的非接触式光学元件曲率半径检测系统,该系统大大提高了光学元件粗磨后曲率半径检测的自动化程度,实现了软硬件结合的一键式面形数据获取。该系统利用x/y轴二维平移台的运动实现网格扫描,同时基于激光扫描法测量面形弧高,并附加有z轴升降台扩展弧高量程。设计了上位机控制程序和人机交互界面,使系统在后期使用中更为灵活便捷。编写了曲面拟合算法,最终实现光学元件面形数据的自动采集、拟合以及相关光学参数的计算,可完成对多种光学元件面形的非接触式检测。实验结果表明,无论待测光学元件的表面落差是否超出激光头测量范围,系统均能完整采集所需面形数据,经过误差处理后,测量精度优于±0.15%,满足粗磨检测要求。
【作者单位】： 中国科学院云南天文台云南省应用天文技术工程实验室;
【关键词】： 测量 面形检测 激光扫描法 光学元件 自动化 曲面拟合
【分类号】：TN249;TH74
【正文快照】： 常用的光学面形检测方法分为接触式检测和非接触式检测两大类。接触式检测中最常见的检测方法是091203-1三坐标测量法,在此方法的基础上发展起来的轮廓仪,其基本原理与三坐标测量机类似,可以认为是针对光学元件测量专门开发的一类三坐标测量设备。例如,英国Form Talysurf PGI ，

本文编号：579238