355nm纳秒和1064nm皮秒激光加工蓝宝石研究

发布时间：2017-07-30 17:22

  本文关键词：355nm纳秒和1064nm皮秒激光加工蓝宝石研究

  更多相关文章： 激光技术 图形切割 微槽加工 蓝宝石基片 纳秒紫外激光 皮秒红外激光

【摘要】：利用波长355nm的纳秒激光和1064nm的皮秒激光对蓝宝石基片进行刻槽及切割实验,通过控制变量法研究了微槽深度、宽度及质量随工艺参数变化的情况,并进行对比分析。结果表明,355nm纳秒激光加工过程存在很大的热作用,而且刻蚀效率低,即使其峰值功率密度达到109 W/cm2也不能实现对蓝宝石毛坯片的图形切割;而1064nm皮秒红外激光切割微槽的质量很高,几乎可实现完全的"冷加工"。最后,通过分析总结,认为激光峰值功率密度达到1012 W/cm2可实现对蓝宝石基片的图形切割,且利用平均功率1 W、单脉冲能量1mJ、脉宽15ps的1064nm红外激光,实现了0.55mm厚蓝宝石毛坯基片的高质量图形切割。
【作者单位】： 北京工业大学激光工程研究院;
【关键词】： 激光技术 图形切割 微槽加工 蓝宝石基片 纳秒紫外激光 皮秒红外激光
【基金】：国家自然科学基金(61144007) 市教委项目(KZ201510005001)
【分类号】：TQ164.2;TN249
【正文快照】： 1引言蓝宝石晶体是一种集优良的光学、物理、化学和机械性能于一体的多功能氧化物,被广泛应用于工业、国防和科研等领域[1],常用于制作光学元件、窗口材料和微机械设备等[2-3],特别是在手机产品上的应用而再次备受关注。大多数应用要求蓝宝石必须有很高的加工质量,但由于蓝宝

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 刘天夫;皮秒光谱技术[J];物理;1990年06期

2 季凌飞;凌晨;李秋瑞;吴燕;闫胤洲;鲍勇;蒋毅坚;;皮秒激光工程应用研究现状与发展分析[J];机械工程学报;2014年05期

3 张骥;李业军;汤秀章;龚X;;皮秒超强激光的并束技术及其与物质相互作用的研究[J];中国原子能科学研究院年报;2005年00期

4 牛憨笨,王水才,赵积来,张焕文,石忠东,杨勤劳,程昭,钱建生;皮秒同步扫描相机系统的研究[J];高速摄影与光子学;1987年03期

5 李港;皮秒激光脉宽的宽带测量[J];北京工业大学学报;1990年01期

6 沙伟丽;陈钜涛;余振新;刘颂豪;;一种可同时测量皮秒和纳秒量级快弛豫过程的方法[J];应用激光;1991年02期

7 晴天;;快速流逝过程光谱研究用的皮秒激光测量综合体[J];激光与光电子学进展;1989年06期

8 ;皮秒孤子接近实用[J];激光与光电子学进展;1995年09期

9 G.Gr銉nninger;孔祥贵;;利用染料漂白测量皮秒脉冲宽度和能量[J];激光与红外;1986年10期

10 刘洋;余锦;张雪;貊泽强;聂树真;黄玉涛;樊仲维;陈波;;三波长同轴输出皮秒激光精细加工系统的研制及其应用[J];激光与光电子学进展;2013年05期

中国重要会议论文全文数据库 前1条

1 王琛;方智恒;王伟;熊俊;孙今人;张国平;郑无敌;傅思祖;顾援;王世绩;;利用皮秒激光驱动瞬态X射线激光实验[A];中国工程物理研究院科技年报（2005）[C];2005年

中国硕士学位论文全文数据库 前4条

1 姜靖;皮秒激光对金属材料微孔加工技术研究[D];北京工业大学;2014年

2 段金鹏;皮秒激光加工系统与精细钻孔工艺的研究[D];北京工业大学;2012年

3 黄强;皮秒激光传输特性及检测方案[D];四川大学;2005年

4 庚同雷;皮秒激光切割与打标仿真中固体材料温度场分布的研究[D];河北工业大学;2012年

，

本文编号：595344