空间分辨率对半导体器件光学测温结果的影响

发布时间：2017-08-06 20:07

  本文关键词：空间分辨率对半导体器件光学测温结果的影响

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【摘要】：从空间分辨率的定义出发,指出物镜的数值孔径和光的波长是决定光学仪器空间分辨率的主要因素。给出了空间分辨率影响半导体器件结温检测结果准确度的原理。对GaN HEMT进行了不同空间分辨率下的显微红外温度检测,较低空间分辨率下的测温结果低于高空间分辨率下的测温结果,证明空间分辨率的不足会导致温度测量结果偏低。
【作者单位】： 中国电子科技集团公司第十三研究所;
【关键词】： 空间分辨率 数值孔径 温度检测 半导体器件
【分类号】：TN303
【正文快照】： 0引言 可见光热反射测温仪器丨M。此类仪器的突出优基于光学原理的温度检测技术已经在半导势是非接触测温,不会影响被测器件或产品的体器件温度测量领域得到了广泛应用,尤其是 工作状态,可以检测器件表面的温度分布,测试对工作在大功率条件下的器件,光学温度检测技 结果直观。，

本文编号：631237