基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构的位姿正解

发布时间：2017-08-09 23:19

  本文关键词：基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构的位姿正解

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【摘要】：针对光刻投影物镜中光学元件X/Y/θ微动调整的工程需求,研制了一种基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构,并对其位姿正解进行了研究。建立了3-RRR柔顺并联机构的伪刚体模型,并采用矢量代数法理论推导了该机构的位姿正解,得到了它的理论雅克比矩阵。然后,在NASTRAN中建立了3-RRR柔顺并联机构的有限元模型,得到了仿真环境下该机构的位姿正解和雅克比矩阵。最后,对研制的3-RRR柔顺并联机构进行了实验研究,得到了该机构真实的位姿正解和雅克比矩阵。实验结果表明,实验雅克比矩阵的各项系数分别为0.577 7、-0.304 0、-0.283 3、0.002 1、0.524 6、-0.516 5、1.402 6、1.481 9、1.435 3,而理论雅克比矩阵相对应的各项系数分别为0.612 9、-0.3065、-0.306 5、0、0.530 8、-0.530 8、1.444 6、1.444 6、1.444 6,得到的数据表明:采用矢量代数法能够理论推导出该机构正确的位姿正解公式。提出的3-RRR柔顺微动调整机构位姿正解方法为微动调整机构的研制提供了设计依据。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心;长春理工大学经济管理学院;
【关键词】： 柔顺并联机构 光学元件微动调整 位姿正解 伪刚体模型 矢量代数法 雅克比矩阵
【基金】：国家重大专项基金资助项目(No.2009ZX02205) 国家自然科学基金资助项目(No.61504142)
【分类号】：TN305.7
【正文快照】： 1引言光刻机作为半导体集成电路领域中的核心设备,其工作性能直接决定终端产品芯片的特征尺寸。随着芯片线宽精细化需求,对光刻机关键组成部分的光刻投影物镜,也提出了越来越高的像差指标要求[1]。因此高精度光刻投影物镜中的多个敏感光学元件在装调和周期性维护过程中需要具

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本文编号：647811