中国建材总院重要科技成果展示——集成电路制造关键装备用高精密碳化硅陶瓷部件研制技术

发布时间：2017-08-12 07:20

  本文关键词：中国建材总院重要科技成果展示——集成电路制造关键装备用高精密碳化硅陶瓷部件研制技术

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【摘要】：正"集成电路制造关键装备用高精密碳化硅陶瓷部件研制技术"是中国建筑材料科学研究总院为清华大学等单位承担的国家科技重大专项"极大规模集成电路制造与成套工艺专项"(02专项)中集成电路制造关键制造装备光刻机工件台用碳化硅陶瓷部件配套开展研制的。集成电路产业是信息技术产业的核心,是支撑社会经济发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导型产业,其中集成电路关键装备的制造是集成电路产业发展的关键环节。目前集成电路制造高端装备被世界少数几个国
【关键词】： 碳化硅陶瓷;集成电路制造;光刻机;材料科学研究;中国建材;制造装备;成套工艺;中国建筑;信息技术产业;重要科技成果;
【分类号】：TQ174.75;TN405
【正文快照】： “集成电路制造关键装备用高精密碳化硅陶瓷部件研制技术”是中国建筑材料科学研究总院为清华大学等单位承担的国家科技重大专项“极大规模集成电路制造与成套工艺专项”(02专项)中集成电路制造关键制造装备光刻机工件台用碳化硅陶瓷部件配套开展研制的。集成电路产业是信息技，

本文编号：660387